[发明专利]一种有效降低SC1中氨水挥发的装置及操作方法在审
| 申请号: | 202111192444.6 | 申请日: | 2021-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN113844779A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
| 发明(设计)人: | 宣丽英 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号: | B65D88/74 | 分类号: | B65D88/74;B65D90/12;B65D88/54 |
| 代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 |
| 地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有效 降低 sc1 氨水 挥发 装置 操作方法 | ||
1.一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,包括平衡板(3)和外缸体(8),所述外缸体(8)固定安装在平衡板(3)的上部,且外缸体(8)和平衡板(3)之间通过三组立板对接固定,其特征在于,所述外缸体(8)的内部固定安装有内缸体(6),且内缸体(6)的内部安装有用来对SC1液体进行降温操作的冷却管(22),所述平衡板(3)的底部设置有固定底板(2),且平衡板(3)和固定底板(2)之间设置有四组液压杆(5),所述内缸体(6)的一端下部位置安装有排料管(12),外缸体(8)和内缸体(6)之间设有水冷管(13)。
2.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述外缸体(8)的一端外表面固定安装有第二卡盘(9),外缸体(8)的另一端外表面固定安装有第一卡盘(7)。
3.根据权利要求2所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述第二卡盘(9)的一侧设有连通管(10),且连通管(10)的下端安装有循环水箱(11),所述水冷管(13)的一端和连通管(10)之间通过分管对接。
4.根据权利要求3所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述水冷管(13)的另一端和循环水箱(11)之间通过循环管(4)贯通连接,所述水冷管(13)上套接有散热卡环(14)。
5.根据权利要求4所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述散热卡环(14)为环形空心结构,且散热卡环(14)的内部开设有环形槽(15)。
6.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述冷却管(22)的下端设有压缩机(1),冷却管(22)和压缩机(1)之间通过管头对接。
7.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述液压杆(5)的一端设有第二滚轴(17),液压杆(5)和平衡板(3)之间通过第二滚轴(17)活动连接,液压杆(5)的另一端设有第一滚轴(16),液压杆(5)和固定底板(2)之间通过第一滚轴(16)活动连接。
8.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述排料管(12)的一端活动安装有抽管(21),抽管(21)上开设有排液槽,排料管(12)的外表面固定安装有对接卡盘(18)。
9.根据权利要求8所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述抽管(21)的一端固定安装有密封盖(19),密封盖(19)的外表面设有螺纹卡环(20),密封盖(19)和对接卡盘(18)之间通过螺纹卡环(20)对接固定。
10.一种有效降低SC1中氨水挥发的装置的操作方法,其特征在于,具体操作步骤为:
步骤一,将SC1液体灌入至内缸体(6)内,利用压缩机(1)将冷媒注入至冷却管(22),通过冷却管(22)对内缸体(6)内的SC1液体进行冷却降温操作;
步骤二,启动循环水箱(11),使得循环水箱(11)内的水体在连通管(10)内循环流动,对内缸体(6)和外缸体(8)之间进行散热操作;
步骤三,通过四组液压杆(5)调节固定底板(2)和平衡板(3)之间的角度,对平衡板(3)上安装的外缸体(8)起到平衡调节作用。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,未经杭州中欣晶圆半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111192444.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种内循环自平衡多级离心水泵
- 下一篇:一种两栖车辆转向传动机构





