[发明专利]一种有效降低SC1中氨水挥发的装置及操作方法在审

专利信息
申请号: 202111192444.6 申请日: 2021-10-13
公开(公告)号: CN113844779A 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 宣丽英 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B65D88/74 分类号: B65D88/74;B65D90/12;B65D88/54
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 有效 降低 sc1 氨水 挥发 装置 操作方法
【权利要求书】:

1.一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,包括平衡板(3)和外缸体(8),所述外缸体(8)固定安装在平衡板(3)的上部,且外缸体(8)和平衡板(3)之间通过三组立板对接固定,其特征在于,所述外缸体(8)的内部固定安装有内缸体(6),且内缸体(6)的内部安装有用来对SC1液体进行降温操作的冷却管(22),所述平衡板(3)的底部设置有固定底板(2),且平衡板(3)和固定底板(2)之间设置有四组液压杆(5),所述内缸体(6)的一端下部位置安装有排料管(12),外缸体(8)和内缸体(6)之间设有水冷管(13)。

2.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述外缸体(8)的一端外表面固定安装有第二卡盘(9),外缸体(8)的另一端外表面固定安装有第一卡盘(7)。

3.根据权利要求2所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述第二卡盘(9)的一侧设有连通管(10),且连通管(10)的下端安装有循环水箱(11),所述水冷管(13)的一端和连通管(10)之间通过分管对接。

4.根据权利要求3所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述水冷管(13)的另一端和循环水箱(11)之间通过循环管(4)贯通连接,所述水冷管(13)上套接有散热卡环(14)。

5.根据权利要求4所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述散热卡环(14)为环形空心结构,且散热卡环(14)的内部开设有环形槽(15)。

6.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述冷却管(22)的下端设有压缩机(1),冷却管(22)和压缩机(1)之间通过管头对接。

7.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述液压杆(5)的一端设有第二滚轴(17),液压杆(5)和平衡板(3)之间通过第二滚轴(17)活动连接,液压杆(5)的另一端设有第一滚轴(16),液压杆(5)和固定底板(2)之间通过第一滚轴(16)活动连接。

8.根据权利要求1所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述排料管(12)的一端活动安装有抽管(21),抽管(21)上开设有排液槽,排料管(12)的外表面固定安装有对接卡盘(18)。

9.根据权利要求8所述的一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,其特征在于,所述抽管(21)的一端固定安装有密封盖(19),密封盖(19)的外表面设有螺纹卡环(20),密封盖(19)和对接卡盘(18)之间通过螺纹卡环(20)对接固定。

10.一种有效降低SC1中氨水挥发的装置的操作方法,其特征在于,具体操作步骤为:

步骤一,将SC1液体灌入至内缸体(6)内,利用压缩机(1)将冷媒注入至冷却管(22),通过冷却管(22)对内缸体(6)内的SC1液体进行冷却降温操作;

步骤二,启动循环水箱(11),使得循环水箱(11)内的水体在连通管(10)内循环流动,对内缸体(6)和外缸体(8)之间进行散热操作;

步骤三,通过四组液压杆(5)调节固定底板(2)和平衡板(3)之间的角度,对平衡板(3)上安装的外缸体(8)起到平衡调节作用。

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