[发明专利]一种用于制备ArF干法光刻的树脂的制备方法

权利要求书

1.一种树脂的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：将以重量份计的40-50份的单体A、以重量份计的0.5-5份的单体B、以重量份计的0.25-2.5份的单体C和以重量份计的0.25-2.5份的单体D在有机溶剂中进行聚合反应，得到所述的树脂；

其中，R¹为C_1-10的烷基；

R²为H或C_1-10的烷基；

R³为C_1-10的烷基；

R⁴为C_2-4的烯基；

R⁵和R⁶独立地为H或C_1-5的烷基。

2.如权利要求1所述的树脂的制备方法，其特征在于，所述的树脂的制备方法满足如下一个或多个条件：

(1)R¹中，所述的C_1-10的烷基为C_1-5的烷基，优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、异丁基或叔丁基，例如甲基；

(2)R²中，所述的C_1-10的烷基为C_1-5的烷基，优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、异丁基或叔丁基，例如甲基；

(3)R³中，所述的C_1-10的烷基为C_1-5的烷基，优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、异丁基或叔丁基，例如甲基；

(4)R⁴中，所述的C_2-4的烯基为C_2-3的烯基，优选为乙烯基或异丙烯基，例如异丙烯基；

(5)R⁵中，所述的C_1-5的烷基，优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、异丁基或叔丁基，例如甲基。

3.如权利要求1所述的树脂的制备方法，其特征在于，所述的树脂的制备方法满足如下一个或多个条件：

(1)所述的单体A为

(2)所述的单体C为

(3)所述的单体D为

(4)所述的单体A的份数为42.5-45；

(5)所述的单体B的份数为2.5-5份；

(6)所述的单体C的份数为0.5-1.25份；

(7)所述的单体D的份数为0.5-1.25份。

4.如权利要求3所述的树脂的制备方法，其特征在于，所述的树脂的制备方法满足如下一个或多个条件：

(1)所述的单体B的份数为3份；

(2)所述的单体C的份数为0.75；

(3)所述的单体D的份数为0.75或1.0。

5.如权利要求1所述的树脂的制备方法，其特征在于，所述的单体A为份数为42.5-45份；

所述的单体B的份数为2.5-5份；

所述的单体C为份数为0.5-1.25份；

所述的单体D为份数为0.5-1.25份。