[发明专利]微机电系统惯性器件的惯性测试装置

说明书

本发明提供一种微机电系统器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比，本发明可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试。

【技术领域】

本发明涉及微机电系统器件的测试技术领域，尤其涉及一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置。

【背景技术】

MEMS器件，是指具有微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)，且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，MEMS器件应用领域相当广泛，常见的产品例如MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器、MEMS红外热电堆传感器。对于惯性测量器件(例如三轴加速度计、六轴陀螺仪)，可以采用离心机提供器件所需加速度，再通过采集传感器输出的测量数据来对一些惯性量指标进行测试分析。但是，目前的测试系统的架构方式一般为：器件放置于离心机上，利用无线采集模块将器件运动时产生的惯性量数据传输至上位机进行处理。采用无线通讯的方式虽然最大程度避免了线缆卡滞对于测试结果的影响，但数据时延高、传输速度慢，误码率高，而且易受到离心机等装置金属结构的干扰，从而显著降低了惯性量传感器测试结果的可靠性，此类测试系统得到的惯性量指标无法对MEMS惯性器件的研发和生产提供正确的指导，对产品的质量和良率带来了较大的影响。

因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。

【发明内容】

本发明的目的之一在于提供一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置，其可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试，以保障惯性量测试数据结果的可靠性。

根据本发明的一个方面，本发明提供一种微机电系统器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，所述离心机转轴受控转动；所述离心机样品台固定于所述离心机转轴的一端，由所述离心机转轴带动同步转动；三轴定位基座，其固定于所述离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，所述测试板可拆卸的固定于所述三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与所述离心机通信连接，以控制所述离心机转轴转动；所述上位机还与所述测试板通信连接，当所述离心机转轴受控转动时，放置于所述测试板上的所述参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至所述上位机。

与现有技术相比，本发明提供的微机电系统惯性器件的惯性测试装置设置上位机和有预知特性曲线的参考惯性器件。所述上位机基于其接收到的所述参考惯性器件输出的实际测量的加速度数据与所述参考惯性器件预知的特性曲线来判断当前采集到的实际测量的加速度数据的稳定性，并对所述若干待测微机电系统惯性器件输出的实际测量的加速度数据进行可靠的筛选。这样，本发明可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试，以保障惯性量测试数据结果的可靠性。

【附图说明】

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本发明在一个实施例中的微机电系统惯性器件的惯性测试装置的结构示意图；