[发明专利]一种高性能的碳碳坩埚表面涂层及其制备方法有效
| 申请号: | 202111175492.4 | 申请日: | 2021-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN113773119B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
| 发明(设计)人: | 李陵 | 申请(专利权)人: | 醴陵市东方电瓷电器有限公司 |
| 主分类号: | C04B41/89 | 分类号: | C04B41/89;C04B35/565;C04B35/58;C04B35/622 |
| 代理公司: | 长沙大珂知识产权代理事务所(普通合伙) 43236 | 代理人: | 邓文娟 |
| 地址: | 412200 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 性能 坩埚 表面 涂层 及其 制备 方法 | ||
本发明公开一种高性能的碳碳坩埚表面涂层及其制备方法,涉及碳基复合材料技术领域。本发明公开的高性能的碳碳坩埚表面涂层,主要通过先在碳碳坩埚的基底上先后沉积一层SiC过渡层和一层LaB6/Y3Al5O12外涂层,所述SiC过渡层采用多次包埋法沉积,所述LaB6/Y3Al5O12外涂层采用料浆法涂覆而成,且SiC过渡层通过有机硅浸渍剂浸渍处理后再涂刷外涂层浆料而成,本发明还公开了碳碳坩埚表面涂层的制备方法。本发明提供的碳碳坩埚表面涂层具有优异的高温强度、高温韧性和高耐磨性,并且抗热震性好、化学稳定性好,同时与碳碳基体具有较高的热膨胀相容性,显著提高了碳碳坩埚的使用寿命和耐损程度,且使碳碳坩埚能在1750℃下长期抗氧化使用。
技术领域
本发明属于碳基复合材料技术领域,尤其涉及一种高性能的碳碳坩埚表面涂层及其制备方法。
背景技术
随着各国政府和人民对资源、环境保护意识和力度的增强,太阳能这一绿色环保产业在我国发展突飞猛进,单晶硅炉的数量由2000年的800台左右迅速增加至现在的8000台左右,由此导致单晶硅炉必不可少的坩埚的需求急剧增长,从而也带动了碳/碳复合材料坩埚在单晶硅炉使用领域的快速发展。碳/碳复合材料坩埚,是由高强度纤维和炭素基质构成的复合材料加工而成的高技术产品,较之石墨制品节能、大幅度省材,且性能优异,具有长寿命、高比强度、耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数小、耐急冷急热不变形不开裂等优良性能,是替代单晶炉石墨坩埚的理想的升级产品。
然而,由于碳/碳复合材料坩埚中的碳纤维是不被硅化的,则在坩埚表面可以看到一些不连续的小蚀坑。随着坩埚使用的进行,表面露出的碳纤维被磨平,这样使更里层的热解炭又会被硅化,如此反复进行,碳/碳复合材料逐渐变薄,其变薄的速度主要取决于热解炭的结构和拆炉清理时产生的摩擦。针对上述问题,目前通常使采用在碳/碳复合材料表面进行涂层处理,较为成熟的涂层方案是在碳/碳复合材料表层涂敷一层很薄的SiC。SiC材料的硬度高、热导率高、抗热震性好、化学稳定性高,同时它能与碳基体具有较好的热膨胀相容性,是一种优异的高温涂层,可有效提高碳碳复合材料的高温强度、抗高温氧化能力和抗高温冲击能力,延长了碳碳坩埚的使用寿命和耐损程度。
为了使碳/碳复合材料表面涂层能在更高温和更苛刻条件下使用,各国研发人员研究了复合涂层对碳/碳复合材料进行处理,通常采用SiC-Al2O3-莫来石、SiC/Ar-Al-Si涂层、Si-Mo涂层、SiC-WSi2/MoSi2等涂层体系。然而,目前的复合涂层在高温氧化环境下,生成的SiO2保护膜能有效的阻挡氧气的渗入,但是随着氧化温度的升高和氧化时间的延长,目前研究的外涂层高温抗氧化能力均不太理想(现有的复合涂层最佳可达到的抗氧化温度为1650℃),而内涂层生成的SiO2黏度降低,挥发严重,保护膜表面生成空洞或者气孔等缺陷,从而使涂层丧失氧化保护能力。
发明内容
本发明的目的是提供一种高性能的碳碳坩埚表面涂层,该涂层具有优异的高温强度、高温韧性和高耐磨性,并且抗热震性好、化学稳定性好,同时与碳碳基体具有较高的热膨胀相容性,显著提高了碳碳坩埚的使用寿命和耐损程度,且使碳碳坩埚能在1750℃下长期抗氧化使用。
为了实现本发明的目的,本发明提供了一种高性能的碳碳坩埚表面涂层,所述涂层主要通过先在碳碳坩埚的基底上先后沉积一层SiC过渡层和一层LaB6/Y3Al5O12外涂层,所述SiC过渡层采用包埋法沉积,所述LaB6/Y3Al5O12外涂层采用料浆法涂覆而成。
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