[发明专利]一种树脂及含其的193nm干法光刻胶

权利要求书

1.一种树脂，其特征在于，所述树脂为由式(A)所示的单体、式(B)所示的单体、式(C)所示的单体和式(D)所示的单体聚合得到的共聚物；

其中，以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为42.5-49.5份，所述式(B)所示的单体的重量份数为1-7.5份，所述式(C)所示的单体的重量份数为0.25-2.5份，所述式(D)所示的单体的重量份数为0.25-2.5份；

其中，R¹为C₁-C₁₀烷基，R²为H或甲基。

2.如权利要求1所述的树脂，其特征在于，R¹为C₁-C₄烷基，例如甲基；

和/或，R²为甲基。

3.如权利要求1所述的树脂，其特征在于，所述式(A)所示的单体为

和/或，以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为42.5-46；

和/或，以重量份数计，所述式(B)所示的单体的重量份数为2.5-4；

和/或，以重量份数计，所述式(C)所示的单体的重量份数为0.5-1.25；

和/或，以重量份数计，所述式(D)所示的单体的重量份数为0.5-1.25；

和/或，所述树脂的重均分子量为5000-10000；

和/或，所述树脂的分子量分布系数为1.0-2.0，例如1.5-2.0。

4.如权利要求1所述的树脂，其特征在于，所述树脂选自以下树脂1-8中的任一种：

树脂1：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为42.5份，所述式(B)所示的单体的重量份数为5份，所述式(C)所示的单体的重量份数为1.25份，所述式(D)所示的单体的重量份数为1.25份；

树脂2：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为45份，所述式(B)所示的单体的重量份数为4份，所述式(C)所示的单体的重量份数为0.5份，所述式(D)所示的单体的重量份数为0.5份；

树脂3：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为45份，所述式(B)所示的单体的重量份数为4份，所述式(C)所示的单体的重量份数为0.25份，所述式(D)所示的单体的重量份数为0.75份；

树脂4：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为45份，所述式(B)所示的单体的重量份数为2.5份，所述式(C)所示的单体的重量份数为1.25份，所述式(D)所示的单体的重量份数为1.25份；

树脂5：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为42.5份，所述式(B)所示的单体的重量份数为4份，所述式(C)所示的单体的重量份数为1.75份，所述式(D)所示的单体的重量份数为1.75份；

树脂6：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为49.5份，所述式(B)所示的单体的重量份数为1份，所述式(C)所示的单体的重量份数为0.75份，所述式(D)所示的单体的重量份数为0.75份；

树脂7：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为42.5份，所述式(B)所示的单体的重量份数为7.5份，所述式(C)所示的单体的重量份数为1.5份，所述式(D)所示的单体的重量份数为1份；

树脂8：以重量份数计，所述式(A)所示的单体的重量份数为46份，所述式(B)所示的单体的重量份数为2.5份，所述式(C)所示的单体的重量份数为0.75份，所述式(D)所示的单体的重量份数为0.75份。

5.如权利要求1至4中任一项所述的树脂，其特征在于，所述树脂由以下制备方法制得，所述制备方法包括以下步骤：将所述的式(A)所示的单体、式(B)所示的单体、式(C)所示的单体和式(D)所示的单体在有机溶剂中进行聚合反应，得到所述树脂。