[发明专利]两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器及其工作方法

权利要求书

1.两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器，其特征是，它包括：第一弯曲压电振子（1）、安装座（2）、V形连杆（3）、动子（4）、第二弯曲压电振子（6）、滑动副（7），在所述V形连杆（3）两个斜杆交汇处设驱动足（3.1），在所述V形连杆（3）两个斜杆端部分别设置相同的连接座（3.3），所述的第一弯曲压电振子（1）和第二弯曲压电振子（6）的一端分别同连接座（3.3）固连，所述的第一弯曲压电振子（1）和第二弯曲压电振子（6）平行设置，所述的第一弯曲压电振子（1）和第二弯曲压电振子（6）的另一端与安装座（2）固连，在所述的滑动副（7）与驱动足（3.1）间设置动子（4），所述的动子（4）的上、下轨道分别接触滑动副（7）与驱动足（3.1）；

所述的V形连杆（3）包括：驱动足（3.1）、柔性铰链（3.2）、连接座（3.3），在所述V形连杆（3）两个斜杆上分别设置柔性铰链（3.2）；

所述的第一弯曲压电振子（1）和第二弯曲压电振子（6）均包括：偶数片方形压电陶瓷（1.1）和振子端盖（1.2），偶数片方形压电陶瓷（1.1）包括左、右两个极化方向相反的极化分区，偶数片方形压电陶瓷（1.1）夹紧在安装座（2）和振子端盖（1.2）之间。

2.根据权利要求1所述的两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器，其特征是，所述的滑动副（7）为导轨滑块。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器，其特征是，所述动子（4）为直线动子或旋转动子。

4.根据权利要求1所述的两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器的工作方法，其特征是，它包括以下步骤：

1）第二弯曲压电振子（6）施加负电压向右弯曲，同时，第一弯曲压电振子（1）施加正电压向左弯曲，驱动足（3.1）运动到竖直方向最低点压紧动子（4）；

2）第二弯曲压电振子（6）的电压保持不变，同时，第一弯曲压电振子（1）施加负电压向右弯曲，驱动足（3.1）运动到水平方向右侧极限位置；

3）第二弯曲压电振子（6）施加正电压向左弯曲，同时，第一弯曲压电振子（1）的电压保持不变，驱动足（3.1）运动到竖直方向最高点；

4）第二弯曲压电振子（6）的电压保持不变，同时，第一弯曲压电振子（1）施加正电压向左弯曲，驱动足（3.1）运动到水平方向左侧极限位置；

5）第二弯曲压电振子（6）施加正电压向右弯曲，同时，第一弯曲压电振子（1）的电压保持不变，驱动足（3.1）运动到竖直方向的最低点；

6）步骤2）至步骤5）为一个完整的驱动过程，重复上述步骤2）至步骤5）实现动子（4）向右大行程步进式驱动。