[发明专利]用于测试设备的分区强制感测系统

说明书

本公开涉及用于测试设备的分区强制感测系统。一种用于向在第一DUT节点处的被测设备(DUT)提供信号或从其接收信号的强制感测系统。系统可包括耦合第一强制感测测量装置的第一部分和第二部分的接口，例如参数测量单元。第一强制感测测量装置的第一和第二部分可以使用各自不同的集成电路来提供，例如可以包括不同管芯类型的不同半导体管芯。在第一测试模式下，接口可被配置为从第一强制感测测量装置的第一部分向第二部分通信第一DUT强制信号，而在第二测试模式下，接口可以被配置为将在第一DUT节点处从DUT接收到的DUT感测信息从第一强制感测测量装置的第二部分通信到第一部分。

背景技术

用于电子器件测试的测试系统可以包括向被测器件(DUT)提供电压测试脉冲的引脚驱动器电路。作为响应，测试系统可以被配置为测量来自DUT的响应，例如以确定DUT是否满足一个或多个指定的操作参数。测试系统可以可选地包括多种不同类别的驱动器电路，以提供具有不同幅度或时序特性的电路测试信号。在示例中，测试系统被配置为使用有源负载和比较器电路来测量来自DUT的响应，以感测DUT引脚处的转换。

用于测试数字集成电路(IC)的系统可以包括每个引脚的参数测量单元(PPMU或PMU)。PMU可以配置为在不同模式下运行，以提供或强制提供电流或电压信号，并接收或测量来自DUT的相应响应。操作模式可以包括例如强制电压测量电流(FVMI)模式、强制电流测量电压(FIMV)模式、强制电流测量电流(FIMI)模式、强制电压测量电压(FVMV)模式、或无强制测量电压(FNMV)模式。PMU可以具有各种强制和感测工作范围，可以使用例如外部放大器或电阻器来修改这些范围。

在示例中，测试系统可以包括被配置为向DUT提供多个电压电平(例如Vhigh、Vlow和Vterm)的驱动器电路。DUT可以表现出双向(I/O)能力，因为它可以提供和接收激励。驱动电路的高电平和低电平用于在其“输入”状态时刺激DUT，而Vterm充当处于“输出”状态的DUT的终端。Vhigh、Vlow和Vterm之间的切换过程可以概念化为三个开关的集合，每个开关的一端连接到Vhigh、Vlow或Vterm，另一端连接到50欧姆的电阻器，即然后连接到DUT节点。三个级别之间的转换可以通过打开和关闭适当的开关来实现，例如在任何给定时间只关闭一个开关。测试系统可以包括其他功能，例如有源负载和高速比较器。有源负载可为DUT提供双向电流源负载，比较器可用作DUT波形数字化仪。

发明内容

本发明人已经认识到，要解决的问题包括提供一种封装的自动化测试系统，该系统被配置为提供驱动器、比较器、有源负载和每引脚参数测量功能。发明人已经认识到该问题包括使用占据最小管芯面积的集成器件结构来适应例如驱动器、比较器和有源负载电路的速度和精度要求，同时最小化与被测器件(DUT)的接口处的负载效应)，同时最大化系统的功能测试范围。问题可能包括提供相对较小、生产成本低、比传统系统消耗更少功率或提供相对于传统系统更高保真性能的系统。

在示例中，这些和其他问题的解决方案可以包括或使用分区强制感测系统。该解决方案可以包括例如使用第一集成电路实现的强制感测测系统的第一部分、使用不同的第二集成电路实现的相同强制感测系统的第二部分以及耦合强制感测系统的第一和第二部分的第一接口。下在示例中，第一接口包括耦合强制感测系统的第一部分和第二部分的导电的、两用的信号路径。强制感测系统的第二部分可以耦合到DUT接口。在强制感测系统的第一测试模式下，例如对应于DC或相对低带宽的电流强制信号，第一接口可以被配置为将DUT强制信号从强制感测系统的第一部分通信到第二部分。在第二测试模式下，例如对应于相对较大的当前强制信号，第一接口可以被配置为将诸如使用强制感测系统的第二部分从DUT接收到的DUT感测信息通信到强制感测系统的第一部分感系统。