[发明专利]用于测试设备的分区强制感测系统

权利要求书

1.一种用于向在第一DUT节点处的被测设备(DUT)提供信号或从其接收信号的强制感测系统，该系统包括：

耦合第一强制感测测量装置的第一部分和第二部分的接口，其中使用各自不同的集成电路提供所述第一强制感测测量装置的第一部分和第二部分，其中：

在第一测试模式下，所述接口被配置为将第一DUT强制信号从所述第一强制感测测量装置的第一部分通信到第二部分，和

在第二测试模式下，所述接口被配置为将在第一DUT节点处从DUT接收的DUT感测信息从所述第一强制感测测量装置的第二部分通信到第一部分。

2.权利要求1所述的强制感测系统，其中所述接口包括：

第一信号路径被配置为将强制控制信号从所述第一强制感测测量装置的第一部分通信到第二部分；

第二信号路径被配置为将第一电压感测信号从所述第一强制感测测量装置的第二部分通信到第一部分；和

双向信号路径，被配置为在所述第一测试模式下通信第一DUT强制信号，并被配置为在所述第二测试模式下通信DUT感测信息。

3.权利要求1所述的强制感测系统，其中所述第一强制感测测量装置的第二部分包括多个缓冲电路，和

其中在第二测试模式下，一个或多个缓冲电路被配置为从所述第一强制感测测量装置的第一部分接收强制控制信号，并且作为响应，向DUT提供第二DUT强制信号。

4.权利要求1所述的强制感测系统，其中所述第一强制感测测量装置的第二部分包括串联耦合在DUT节点和所述接口之间的多个感测电阻器。

5.权利要求4所述的强制感测系统，其中所述第一强制感测测量装置的第一部分包括可调电流驱动器，被配置为经由所述接口向感测电阻器提供第一DUT强制信号。

6.权利要求1所述的强制感测系统，其中所述第一强制感测测量装置的第一部分包括第一半导体材料类型的第一半导体管芯的一部分，并且其中所述第一强制感测测量装置的第二部分包括与所述第一半导体材料类型不同的第二半导体材料类型的第二半导体管芯的一部分。

7.权利要求6所述的强制感测系统，其中所述第二半导体管芯包括DUT节点。

8.权利要求7所述的强制感测系统，还包括：

第二强制感测测量装置包括信号驱动器、比较器和耦合到所述DUT节点的有源负载，其中所述第二强制感测测量装置独立于所述第一强制感测测量装置，并且所述第二强制感测测量装置包括所述第二半导体材料类型的第二半导体管芯的一部分。

9.权利要求6所述的强制感测系统，其中所述第一半导体材料类型的第一半导体管芯包括较低带宽的集成器件，而所述第二半导体材料类型的第二半导体管芯包括较高带宽的集成器件。

10.权利要求1所述的强制感测系统，其中所述第一强制感测测量装置的第一部分被配置为接收强制控制信号；和

其中所述第一强制感测测量装置的第二部分被配置为提供第二DUT强制信号，并且所述第二DUT强制信号基于所述强制控制信号。

11.权利要求10所述的强制感测系统，其中所述第一和第二DUT强制信号包括分别具有较小的第一和较大的第二幅度特性的电流信号。

12.权利要求1所述的强制感测系统，其中所述强制感测测量装置的第一部分包括具有放大器的反馈网络，被配置为接收测试控制信号和DUT感测信息，并作为响应，将缓冲控制信号提供给所述第一强制感测测量装置的第二部分中的缓冲电路，并且其中在第二测试模式下，所述缓冲电路被配置为向所述DUT节点提供第二DUT强制信号。