[发明专利]一种监测呼吸的柔性传感器制备方法

说明书

本发明公开了一种监测呼吸的柔性传感器制备方法，所述柔性传感器制备方法包括：S1：制备目标掩模版和未完全固化的柔性基底；S2：根据所述目标掩模板和所述未完全固化的柔性基底，制备柔性敏感单元；S3：分别在所述柔性敏感单元的两端制备信号线；S4：根据所述柔性敏感单元，制备封装柔性层。本发明所公开的柔性传感器制备方法，能够解决现有的传感器制作工艺复杂、成本高、体积大的问题。

技术领域

本发明涉及传感器制备技术领域，具体涉及一种监测呼吸的柔性传感器制备方法。

背景技术

呼吸频率，作为生理参数的一种，是急性呼吸功能障碍的敏感指标。是重要生命指征之一。现有的部分方案公开了了一种呼吸管路、呼吸机及传感器数据传输方法。该呼吸管路包括两个接线端子、加热单元、控制器、传感器。该发明虽然从气流中获取的数据较丰富，也比较精确，但由于气流需要从口鼻处获取，给使用者带来很大的不便。另外一些涉及一种呼吸监测传感器及呼吸引导系统与方法，包括呼吸监测传感器、数据分析系统、主控制器、显示设备和呼吸引导装置。但该装置也存在不合理的问题，即不能做到足够小，佩戴在身体上也会给人很不舒适的感觉。由此，现有的柔性传感器大多制作工艺复杂、成本高且体积较大，因而适配性和市场应用性低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种监测呼吸的柔性传感器制备方法，以解决现有的传感器制作工艺复杂、成本高、体积大的问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

本发明提供一种监测呼吸的柔性传感器制备方法，所述柔性传感器制备方法包括：

S1：制备目标掩模版和未完全固化的柔性基底；

S2：根据所述目标掩模板和所述未完全固化的柔性基底，制备柔性敏感单元；

S3：分别在所述柔性敏感单元的两端制备信号线；

S4：根据所述柔性敏感单元，制备封装柔性层。

可选择地，所述步骤S1中，所述掩模板为镂空结构。

可选择地，所述步骤S1包括以下分步骤：

S11：刻蚀原始掩模板，得到初始掩模板；

S12：利用清洗溶液清洗所述初始掩模板；

S13：利用烘干设备在第一预设条件下干燥所述初始掩模板，得到所述目标掩模板；

S14：在基板上涂抹脱模剂；

S15：利用烘干设备在第二预设条件下烘干所述脱模剂；

S16：在所述基板上涂抹柔性聚合物溶液，得到未完全固化的柔性基底。

可选择地，所述步骤S16中，采用旋涂的方式涂抹所述柔性聚合物溶液，所述旋涂转速为500-8000转/分钟。

可选择地，所述步骤S2包括以下分步骤：

S21：在所述目标掩模板上涂抹脱模剂，并利用烘干设备在第三预设条件下烘干所述脱模剂；

S22：贴敷所述目标掩模板于所述未固化的柔性基底上；

S23：在所述目标掩模板远离所述未固化的柔性基底的一侧，填充导电材料于所述目标掩模板的镂空部分，以使所述导电材料与所述未固化的柔性基底接触，得到所述柔性敏感单元；

S24：利用烘干设备在预设条件下烘干所述柔性敏感单元，并将所述柔性敏感单元从所述目标掩模板和所述基板上剥离。

可选择地，所述步骤S3包括：采用导电溶液将信号线固定于所述柔性敏感单元的两端，并在第四预设条件下固化所述导电溶液。

可选择地，所述导电溶液为导电银浆和/或导电碳油。