[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：基底以及设置于所述基底上的压电堆叠结构，所述压电堆叠结构包括依次层叠设置的底电极、压电材料层和顶电极，所述顶电极在所述基底上的正投影的轮廓由阶数大于或等于3的贝塞尔曲线首尾连接而成，所述轮廓的边缘平滑设置。

2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极在所述基底的正投影的轮廓和所述底电极在所述基底的正投影的轮廓的形状相同，且所述顶电极的轮廓面积小于所述底电极的轮廓面积，所述顶电极的轮廓至所述底电极的轮廓的间距为2至5μm。

3.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述基底靠近所述压电堆叠结构的一侧还设置有空腔，所述压电堆叠结构位于所述空腔之上；或，在所述基底和所述压电堆叠结构之间还设置有高低声阻抗叠层。

4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电材料层的材质为AlN、ScAlN、ZnO、PZT、LiNbO₃和LiTaO₃中的一种。

5.一种体声波滤波器，其特征在于，包括多个如权利要求1至4任一项所述的体声波谐振器，相邻两个所述体声波谐振器串联或并联。

6.如权利要求5所述的体声波滤波器，其特征在于，串联的所述体声波谐振器的一端与第一信号端连接、另一端与第二信号端连接，并联的所述体声波谐振器一端与串联的所述体声波谐振器连接、另一端与接地端连接。