[发明专利]一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202111109321.1 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113832466A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 肖建军;童海霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市四辉表面处理科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/08 | 分类号： | C23F11/08 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 刘嘉伟 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 硅溶胶 缓蚀剂 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
以水、乙醇、纳米硅溶胶、十二烷基苯磺酸钠为原料，在室温下进行混合；
搅拌混合物，直到混合物的颜色从浑浊变为澄清；
对混合物进行旋转蒸发，得到产品。
2.根据权利要求1所述的一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述硅溶胶的浓度为20%。
3.根据权利要求1所述的一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述硅溶胶的PH值为2-11中的任意值。
4.根据权利要求1所述的一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述十二烷基苯磺酸钠为直链烷基苯磺酸钠。
5.根据权利要求1所述的一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述水、所述乙醇、所述纳米硅溶胶、所述十二烷基苯磺酸钠的重量比为14：20：65：1。
6.根据权利要求1所述的一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述纳米硅溶胶的纳米尺寸为4nm、6-7nm、10-12nm、15-20nm、25-28nm、30-32nm、35-38nm、40-43nm、45-50nm。
7.一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂，其特征在于，采用权利要求1-6中任意一项所述制备方法所获得。
8.一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂的应用，其特征在于，在切削液或者铝材清洗剂中加入权利要求7所述的纳米水基硅溶胶缓蚀剂。
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