[发明专利]减少准分子光源中的散斑

权利要求书

1.一种设备，包括：

相位调制器系统，在具有深紫外范围中的波长的脉冲的光束的路径中，所述相位调制器系统被配置为，对于所述光束的多个脉冲中的每个脉冲，在所述脉冲的脉冲持续时间上调制光学相位，以产生具有第二时间相干性长度的修改的脉冲，所述第二时间相干性长度小于所述脉冲在被调制之前的第一时间相干性长度；

测量设备，被配置为测量测试脉冲的特性，其中，所述测试脉冲是具有所述第一时间相干性的脉冲或具有所述第二时间相干性的所述修改的脉冲；以及

控制系统，与所述测量设备和所述相位调制器系统通信，所述控制系统被配置为：

从所述测量设备接收所述测试脉冲的所测量特性；

基于所接收的所述所测量特性来确定所述修改的脉冲的带宽是否在目标带宽的范围内；以及

如果确定所述修改的脉冲的所述带宽在所述目标带宽的所述范围之外，则调节在产生所述修改的脉冲的所述脉冲的所述脉冲持续时间上所述光学相位被调制的频率。

2.一种光源，包括：

第一级光源，被配置为产生由脉冲组成的种子光束，并且包括被配置为调谐所述种子光束的一个或多个光谱特征的光谱调谐设备，每个脉冲具有在深紫外范围中的波长，每个脉冲具有由第一时间相干性长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；

相干性降低系统，在所述种子光束脉冲的路径中，并且被配置为，对于所述种子光束的每个脉冲，产生具有由第二时间相干性长度定义的第二时间相干性的修改的种子光束脉冲，所述第二时间相干性长度小于所述第一时间相干性长度；以及

第二级光学放大器，包括谐振器和增益介质，所述第二级光学放大器被配置为接收从所述相干性降低系统输出的所述修改的种子光束脉冲，并且产生由放大的脉冲组成的光束。

3.根据权利要求2所述的光源，其中，所述相干性降低系统包括相位调制器系统，所述相位调制器系统被配置为，对于所述种子光束的每个脉冲，在所述脉冲的所述脉冲持续时间上调制光学相位，以产生具有由所述第二时间相干性长度定义的所述第二时间相干性的所述修改的种子光束脉冲，所述第二时间相干性长度小于所述第一时间相干性长度。

4.根据权利要求3所述的光源，其中，所述相位调制器系统包括相位调制器的二维阵列。

5.根据权利要求3所述的光源，其中，所述相位调制器系统还被配置为，对于所述种子光束的每个脉冲，降低所述脉冲的空间相干性，使得所述种子光束的所述修改的脉冲具有小于所述种子光束脉冲的所述空间相干性的第二空间相干性。

6.根据权利要求3所述的光源，其中，所述相位调制器系统包括普克尔斯盒，所述普克尔斯盒包括脉冲的所述种子光束通过的介质。

7.根据权利要求6所述的光源，其中，所述相位调制器系统被配置为，对于所述种子光束的每个脉冲，在所述脉冲的所述脉冲持续时间上调制所述光学相位以产生所述修改的种子光束脉冲包括调制所述普克尔斯盒的所述介质的折射率。

8.根据权利要求3所述的光源，其中所述相位调制器系统包括单个相位调制器。

9.根据权利要求2所述的光源，其中，所述第一级光源包括主振荡器，所述主振荡器包括增益介质和光学反馈机构，放大被配置为在所述增益介质中发生，并且所述第二级光学放大器包括功率放大器，所述功率放大器包括增益介质，当用来自所述主振荡器的所述种子光束接种时，放大被配置为在所述增益介质中发生。

10.根据权利要求9所述的光源，其中，所述主振荡器包括具有两个电极的气体放电室，并且所述气体放电室被配置为容纳用作所述增益介质的激光气体，其中激光谐振器被形成在所述气体放电室的一侧上的所述光谱调谐设备与所述气体放电室的第二侧上的输出耦合器之间，所述种子光束通过所述输出耦合器离开所述第一级光源。