[发明专利]中间制品、蒸镀掩模的制造方法以及对位方法有效
| 申请号： | 202111001437.3 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113684445B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 内田泰弘;松浦幸代;池永知加雄 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中间 制品 蒸镀掩模 制造 方法 以及 对位 | ||
1.一种中间制品，其是蒸镀掩模的中间制品，其特征在于，
具备形成有多个贯通孔的多个蒸镀掩模部分、和在俯视时包围所述蒸镀掩模部分且与所述蒸镀掩模部分部分地连接的支承部分，
所述蒸镀掩模部分具备：
形成有所述贯通孔的第1面及第2面；
一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模部分在所述蒸镀掩模部分的长度方向上的轮廓；以及
一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模部分在所述蒸镀掩模部分的宽度方向上的轮廓，
所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，
所述贯通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，
所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔连接部靠所述第1面侧的位置。
2.根据权利要求1所述的中间制品，其特征在于，
所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。
3.根据权利要求1所述的中间制品，其特征在于，
所述第1端部位于比所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部靠外侧的位置，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。
4.一种中间制品，其是蒸镀掩模的中间制品，其特征在于，
具备形成有多个贯通孔的多个蒸镀掩模部分、和在俯视时包围所述蒸镀掩模部分且与所述蒸镀掩模部分部分地连接的支承部分，
所述蒸镀掩模部分具备：
形成有所述贯通孔的第1面及第2面；
一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模部分在所述蒸镀掩模部分的长度方向上的轮廓；以及
一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模部分在所述蒸镀掩模部分的宽度方向上的轮廓，
所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，
所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的中间制品，其特征在于，
所述第1面和所述长侧面相连接的位于与所述第1面相同的平面上的第1连接部、与所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部之间的在所述第1面的面方向上的距离为3.5μm以下。
6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的中间制品，其特征在于，
所述第1部分位于比通过所述第1端部和所述第2端部的假想的平面或直线靠内侧的位置。
7.根据权利要求1至4中的任意一项所述的中间制品，其特征在于，
所述蒸镀掩模部分的厚度为50μm以下。
8.根据权利要求1至4中的任意一项所述的中间制品，其特征在于，
所述第2端部与所述第2面和所述长侧面相连接的第2连接部一致，所述第2连接部位于与所述第2面相同的平面上。
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