[发明专利]一种密封加热器

权利要求书

1.一种密封加热器，其特征在于，包括上腔体与下腔体；其中：

所述上腔体边缘通过锁合结构与所述下腔体连接，所述锁合结构包括安装于所述上腔体上的固定块以及位于所述下腔体上的锁合密封圈，所述固定块与所述上腔体之间存在卡槽，所述锁合密封圈上设有扣合槽，所述锁合密封圈通过安装块与所述下腔体连接，所述锁合密封圈为e形密封圈；

所述下腔体内设置有加热组件与石墨板，所述加热组件包括自内而外设置的加热管与石英管，所述加热管产生的热量经所述石英管辐射至所述石墨板底部，所述石墨板受热后在上表面形成加热面，所述石英管两端均通过密封组件与所述下腔体连接，所述密封组件包括环形密封圈、坡口圈、平面密封圈以及密封压板，所述坡口圈数量为两个且位于所述环形密封圈两侧，所述平面密封圈与所述密封压板形成外密封结构对所述下腔体外表面进行密封。

2.根据权利要求1所述的一种密封加热器，其特征在于，所述上腔体上设有上部进气口，所述上部进气口用于保护气进入。

3.根据权利要求1所述的一种密封加热器，其特征在于，所述下腔体上设有抽气口与下部进气口，所述抽气口与外部真空泵连接，所述下部进气口用于冷却气进入。

4.根据权利要求3所述的一种密封加热器，其特征在于，所述下腔体内设置有热交换板，所述热交换板位于所述加热组件下方，所述下部进气口通入的冷却气位于所述热交换板下方区域，加热结束后，所述下腔体内加热产生的余温在所述热交换板上方与位于所述热交换板下方的冷却气形成热量交换从而实现对下腔体内部的冷却。

5.根据权利要求4所述的一种密封加热器，其特征在于，所述热交换板上设有热交换孔。

6.根据权利要求1所述的一种密封加热器，其特征在于，所述加热管为红外加热管，所述石英管为耐高温石英管。