[发明专利]一种同步溅射双面AR玻璃盖板功能膜系叠置方法

说明书

本发明提供了一种同步溅射双面AR玻璃盖板功能膜系叠置方法，包括功能膜系薄膜层结构叠置方法和薄膜层光学膜厚设置方法，所述功能膜系薄膜层结构叠置方法是采用高透射率薄膜材料二氧化硅和高折射率薄膜材料五氧化二铌叠加叠置的双面膜系结构，所述薄膜层光学膜厚设置方法包括高透射率薄膜材料二氧化硅单薄膜层膜厚设置和高折射率薄膜材料五氧化二铌单薄膜层膜厚设置。通过采用上述不同材料薄膜层叠加叠置方法和单薄膜层光学膜厚为所构成的双面AR玻璃盖板膜系功能膜系，比传统的单面AR玻璃可见光透过率可提高到或超过99％。双面AR玻璃盖板可使视频图像色彩更加清淅逼真。

技术领域

本发明属于电子显示玻璃盖板技术领域，特别是涉及一种同步溅射双面AR玻璃盖板功能膜系叠置方法。

背景技术

随着电子显示技术的快速发展，人们对电子显示屏图像清晰度也提出了新的更高的要求，目前有镀膜企业在单面AR玻璃基础上将其背面二次加工成双面AR玻璃，该二次镀膜加工工艺过程不仅会给单面AR功能膜层表面带来损伤、而且它在差异溅射气氛中所沉积的双面AR膜系可见光透过率很难达到理想值。

发明内容

为了克服上述问题，本发明提供了一种同步溅射双面AR玻璃盖板功能膜系叠置方法，使AR玻璃盖板可见光透过率提高≥99％；通过采用同步溅射双面AR玻璃盖板功能膜系叠置方法，不仅相对老工艺方法在产能上成倍增长，而且功能膜系质量也得到了很大提高，同时可见光透过率也明显优于前者。

本发明所采用的技术方案是：

一种同步溅射双面AR玻璃盖板功能膜系叠置方法，包括功能膜系薄膜层结构叠置方法和薄膜层光学膜厚设置方法，所述功能膜系薄膜层结构叠置方法是采用高透射率薄膜材料二氧化硅和高折射率薄膜材料五氧化二铌叠加叠置的双面膜系结构，所述薄膜层光学膜厚设置方法包括高透射率薄膜材料二氧化硅单薄膜层膜厚设置和高折射率薄膜材料五氧化二铌单薄膜层膜厚设置；

所述功能膜系薄膜层结构叠置方法，包括如下步骤：

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第一层均叠置第一层高透射率材料二氧化硅薄膜打底层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第二层均叠置第二层高折射率材料五氧化二铌薄膜层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第三层均叠置第三层高折射率材料五氧化二铌薄膜层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第四层均叠置第四层高透射率材料二氧化硅薄膜层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第五层均叠置第五层高透射率材料二氧化硅薄膜层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第六层均叠置第六层高折射率薄膜材料五氧化二铌薄膜层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第七层均叠置第七层高折射率薄膜材料五氧化二铌薄膜层；

依玻璃基板空气面和玻璃基板锡面两个表面的第八层均叠置第八层高透射率材料二氧化硅薄膜覆盖层。

其中，第一层高透射率材料二氧化硅薄膜打底层的光学膜厚为23nm。

其中，第二层高折射率材料五氧化二铌薄膜层和所述第七层高折射率薄膜材料五氧化二铌薄膜层的光学膜厚均为20nm。

其中，第三层高折射率材料五氧化二铌薄膜层和所述第六层高折射率薄膜材料五氧化二铌薄膜层的光学膜厚均为26nm。

其中，第四层高透射率材料二氧化硅薄膜层的光学膜厚为10nm。

其中，第五层高透射率材料二氧化硅薄膜层的光学膜厚为13nm。

其中，第八层高透射率材料二氧化硅薄膜覆盖层的光学膜厚为25nm。