[发明专利]一种准分子灯在审
| 申请号： | 202110971202.0 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113658847A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李立胜;黄天赐 | 申请（专利权）人： | 广明源光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01J61/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 谢倾佳;管莹 |
| 地址： | 529728 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 | ||
1.一种准分子灯，其特征在于：包括
灯管，至少设置三根，所述灯管内填充有放电气体，所述灯管围绕横向轴线分布；
第一电极，设于所述灯管的一端，所述第一电极套设于所述灯管上且分别与所述灯管的外侧连接；
第二电极，设于所述灯管的另一端，所述第二电极套设于所述灯管上且分别与所述灯管的外侧连接。
2.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于：相邻的所述灯管连接，多个所述灯管的内侧形成四周封闭的空腔。
3.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于：所述灯管的内侧设有用于承托固定所述灯管的支撑件。
4.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于：所述灯管的外侧覆设有反光层。
5.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于：所述灯管发出的光的波长为100nm～255nm。
6.一种准分子灯，其特征在于：包括
灯管，至少设置三根，所述灯管内填充有放电气体，所述灯管围绕横向轴线分布；
第一电极，设于所述灯管的一端，所述第一电极套设于所述灯管上且分别与所述灯管的外侧连接；
第二电极，设于所述灯管的另一端，所述第二电极设于所述灯管的内侧且分别与所述灯管的内侧连接。
7.根据权利要求6所述的准分子灯，其特征在于：所述第二电极远离所述第一电极的一端设有第二延长电极。
8.一种准分子灯，其特征在于：包括
灯管，至少设置三根，所述灯管内填充有放电气体，所述灯管围绕横向轴线分布；
第一电极，设于所述灯管的一端，所述第一电极设于所述灯管的内侧且分别与所述灯管的内侧连接；
第二电极，设于所述灯管的另一端，所述第二电极设于所述灯管的内侧且分别与所述灯管的内侧连接。
9.根据权利要求8所述的准分子灯，其特征在于：所述第一电极远离所述第二电极的一端设有第一延长电极，所述第二电极远离所述第一电极的一端设有第二延长电极。
10.根据权利要求9所述的准分子灯，其特征在于：所述灯管的内侧覆设有反光层。
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