[发明专利]铁电电容器、铁电场效应晶体管及在形成包含导电材料与铁电材料的电子组件时使用的方法

权利要求书

1.一种铁电电容器，其包括：

两个导电电容器电极，所述两个导电电容器电极在其之间具有铁电材料；以及

在衬底上包含不同组合物非铁电金属氧化物的复合堆叠；所述不同组合物非铁电金属氧化物是从以下各项当中选出：TiO_x、AlO_x、Al₂O₃、ScO_x、Sc₂O₃、ZrO_x、YO_x、Y₂O₃、MgO_x、MgO、HfO_x、SrO_x、SrO、Ta_xO_y、NbO_x、GdO_x、MoO_x、RuO_x、LaO_x、V_xO_y、IrO_x、CrO_x、ZnO_x、PrO_x、CeO_x、SmO_x及LuO_x。

2.根据权利要求1所述的铁电电容器，其中所述复合堆叠另外包含SiO₂。

3.一种铁电电容器，其包括：

两个导电电容器电极，所述两个导电电容器电极在其之间具有铁电金属氧化物材料，所述铁电金属氧化物材料包括由下列各项所组成的群组中的一或多个成员：过渡金属氧化物、锆、氧化锆、铪、氧化铪、钛酸锆铅、氧化钽、氧化锶、氧化锶钛、氧化钛及钛酸钡锶，且可在其中具有包含硅、铝、镧、钇、铒、钙、镁、锶、镥、镝、钆、镨、铬、铌、钽、铪、锆、钒锰、钴、镍、碳及任何其它稀土元素中的一或多者的掺杂剂；以及

所述导电电容器电极中的至少一者和所述铁电金属氧化物材料之间的非铁电材料，所述非铁电材料包括复合堆叠，所述复合堆叠包括至少两种不同非铁电金属氧化物组合物，所述至少两种不同非铁电金属氧化物组合物从由下列各项所组成的群组中选出:TiO_x、AlO_x、Al₂O₃、ScO_x、Sc₂O₃、ZrO_x、YO_x、Y₂O₃、MgO_x、MgO、HfO_x、SrO_x、SrO、Ta_xO_y、NbO_x、GdO_x、MoO_x、RuO_x、LaO_x、V_xO_y、IrO_x、CrO_x、ZnO_x、PrO_x、CeO_x、SmO_x及LuO_x，所述非铁电材料具有比所述非铁电材料较接近的所述导电电容器电极更低的总体导电率。

4.根据权利要求3所述的铁电电容器，其中所述电容器电极的每一者独立地包含从由下列各项所组成的群组中选出的一或多种材料：IrO_x、SrRuO₃、RuO_x、LSCO、TiSi_x、TaSi_x、RuSi_x、WN_xSi_y、Ru、TiAlN、TaN、WN_x、TiSi_xN_y、TaSi_xN_y、RuSi_xN_y及RuSi_xTi_yN_z。