[发明专利]金刚线上砂设备、金刚线制备方法及金刚线制备系统

说明书

本申请涉及金刚线制备技术领域，尤其是涉及一种金刚线上砂设备、金刚线制备方法及金刚线制备系统，包括：电源，包括阴极和阳极；第一导电辊，与阴极电连接，第一导电辊和第二导电辊分别具有彼此平行的第一轴线和第二轴线；第一镀层部和第二镀层部，设置于由第一轴线和第二轴线二者共同确定的第一平面的两侧，形成有第一镀槽和第二镀槽；上砂筒，上砂筒具有延伸方向，包括在延伸方向上彼此相对的第一开口和第二开口，上砂筒的内壁与阳极电连接，上砂筒设置于经过第一轴线的垂直于第一平面的第二平面和经过第二轴线的垂直于第一平面的第三平面之间。根据本申请提供的金刚线上砂设备、金刚线制备方法及金刚线制备系统，有效提高了上砂的均匀性。

技术领域

本申请涉及金刚线制备技术领域，尤其是涉及一种金刚线上砂设备、金刚线制备方法及金刚线制备系统。

背景技术

随着科技发展，对精密元器件(例如硅片)的切割精度要求不断提高，这使得对用于切割精密元器件的金刚线的质量提出了更高的要求。金刚线的质量主要取决于钢丝线电镀上砂工序的镀层的均匀性和牢固性。

然而，现有金刚线的电镀上砂工序，因为设备原因，易出现上砂不均匀，甚至会出现钢丝线的一侧有砂一侧无砂的现象。

此外，为了保持金刚砂在镀液中的分布均匀性，在镀液中添加分散剂，导致镀层结合力较弱，易出现脱砂和脱镀层问题；为了保证上砂量，金刚线上砂工序走线速度较低，这使得上砂效率较低。

发明内容

本申请的目的在于提供一种金刚线上砂设备、金刚线制备方法及金刚线制备系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的上砂不均匀的技术问题。

根据本申请的第一方面提供一种金刚线上砂设备，包括：

电源，包括阴极和阳极；

第一导电辊，与所述阴极电连接，所述第一导电辊具有第一轴线；

第二导电辊，具有第二轴线，所述第二轴线与所述第一轴线平行；

第一镀层部和第二镀层部，分别设置于由所述第一轴线和所述第二轴线二者共同确定的第一平面的两侧，所述第一镀层部和所述第二镀层部分别形成有第一镀槽和第二镀槽；

上砂筒，所述上砂筒具有延伸方向，所述上砂筒包括在所述延伸方向上彼此相对的第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口二者供金刚线贯穿，所述上砂筒的内壁与所述阳极电连接，所述上砂筒设置于经过所述第一轴线的垂直于所述第一平面的第二平面和经过所述第二轴线的垂直于所述第一平面的第三平面之间。

优选地，所述上砂筒的外侧部形成有多组安置槽，每组所述安置槽包括多个沿着环绕所述上砂筒的方向排布的安置槽，所述金刚线上砂设备还包括磁性部和驱动构件，任一所述安置槽内设置有所述磁性部，所述驱动构件与所述上砂筒连接，所述驱动构件驱动所述上砂筒绕着沿着所述延伸方向延伸的经过所述上砂筒的轴线旋转。

根据以上技术特征，磁性部和驱动构件的共同作用形成旋转磁场，在旋转磁场的作用下，上砂筒内部的金刚砂镀液中的金刚砂被磁场磁化，在磁力作用下使得金刚砂在镀液中悬浮，使得金刚砂镀液中的金刚砂分布均匀。

优选地，在所述金刚线上砂设备的使用状态下，所述第一平面为竖直平面，所述延伸方向为竖直方向；在所述第一导电辊和所述第二导电辊二者之间延伸的所述金刚线包括自所述第一导电辊流向所述第二导电辊的第一段和自所述第二导电辊流向所述第一导电辊的第二段；

所述金刚线上砂设备包括多个所述上砂筒，所述金刚线上砂设备包括的多个所述上砂筒中的一部分供所述第一段贯穿，另一部分工所述第二段贯穿。

根据以上技术特征，相对于同一根金刚线，可以至少经过第一段所贯穿的第一上砂筒和第二段所贯穿的第二上砂筒两个上砂筒进行上砂，相当于延长了上砂筒的长度，延长了上砂区间；相对于不同根金刚线，金刚线上砂设备可以进行多根金刚线同时进行镀层上砂，有效提高了上砂效率。