[发明专利]一种玻璃基板翘曲的检测方法及装置在审
申请号: | 202110898069.0 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN113834462A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;王俊明;郭以深;张志刚;赵玉乐;王光祥;刘言昌;杨山立;李东东 | 申请(专利权)人: | 山西光兴光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司 |
主分类号: | G01B21/32 | 分类号: | G01B21/32 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 肖冰滨;王晓晓 |
地址: | 030000 山西省太原市唐槐园区唐槐路9*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 基板翘曲 检测 方法 装置 | ||
本发明实施例提供一种玻璃基板翘曲的检测方法及装置,该方法包括获取成品尺寸的玻璃基板;对该玻璃基板进行整版翘曲测量和边部翘曲测量;根据所述整版翘曲测量结果和边部翘曲测量结果,判断该玻璃基板是否合格。该方法实现了玻璃翘曲检测,降低了翘曲不良比率,确保了玻璃基材的品质。
技术领域
本发明涉及测量领域,具体地涉及一种玻璃基板翘曲的检测方法及装置。
背景技术
随着电子技术的不断发展,电脑、手机、车载显示屏等智能产品采用玻璃的越来越多,玻璃也在不断地向大尺寸和薄型化发展,玻璃的翘曲度是玻璃在生产过程中需要重点管控的指标之一。
在6代载板玻璃生产中,翘曲是一种玻璃片材的缺陷,其特征是偏离平面。翘曲的产生工序是成型工序,翘曲产生原因:热量的不平均,在玻璃的冷却过程中,在同一片玻璃内有发生温度差过大的现象;溢流砖粘度控制不当,造成因重力产生的蠕动变形(褶皱);机械的干扰:受到外力干扰造成玻璃在退火过程中弯曲或变形。翘曲已成为玻璃基材制造中最棘手而持续出现的问题,翘曲不良会影响下游用户生产良率,造成用户生产良率降低,引起用户抱怨,影响用户对产品品质的信心,因此需要对玻璃基材的翘曲进行检测,以确定产品品质。
发明内容
本发明实施例的目的是一种玻璃基板翘曲的检测方法及装置,该方法实现了玻璃翘曲检测,降低了翘曲不良比率,确保了玻璃基材的品质。
本发明的发明人通过研究发现,在现有的技术方法中,翘曲测量方法是用半成品玻璃直接放到翘曲仪上测量整版翘曲,以整版翘曲测量结果来判定玻璃翘曲是否是良品。此方法存在的弊端是整版翘曲值不能很好的体现玻璃某一局部翘曲的情况,尤其是玻璃边缘部分的翘曲。因载板玻璃制造工艺复杂,波动因子很多,极易引起玻璃形状的变化,即玻璃翘曲的改变。
为了解决上述问题,本发明提供一种玻璃基板翘曲的检测方法及装置,该方法包括:获取成品尺寸的玻璃基板;对该玻璃基板进行整版翘曲测量和边部翘曲测量;根据所述整版翘曲测量结果和边部翘曲测量结果,判断该玻璃基板是否合格。
可选的,对所述玻璃基板进行清理后进行整版翘曲测量;所述整版翘曲测量结果合格后,进行边部翘曲测量。
可选的,根据边部翘曲测量结果与翘曲阈值的比较,判定该玻璃基板是否合格。
可选的,所述整版翘曲测量时,横向采样步距为5-50mm,纵向采样步距为5-50mm;所述边部翘曲测量时,横向采样步距为5-10mm,纵向采样步距为5-10mm。
可选的,以所述玻璃基板的一侧为基准,所述边部翘曲测量包括近端翘曲测量、远端翘曲测量、上端翘曲测量和下端翘曲测量。
可选的,所述近端翘曲测量包括:测量一组数据,获取该测量数据的最大值为近端翘曲值。
可选的,所述远端翘曲测量包括:测量一组数据,获取该测量数据的最大值为远端翘曲值。
可选的,根据上端翘曲测量获取玻璃基板的上端翘曲值、近上角翘曲值、远上角翘曲值。
可选的,根据下端翘曲测量获取玻璃基板的下端翘曲值、近下角翘曲值、远下角翘曲值。
相应的,本发明实施例还提供一种玻璃基板翘曲的检测装置,包括:获取单元,用于获取成品尺寸的玻璃基板;测量单元,用于对该玻璃基板进行整版翘曲测量和边部翘曲测量;判定单元,根据所述整版翘曲测量结果和边部翘曲测量结果,检测该玻璃基板是否合格。
可选的,对所述玻璃基板进行清理后进行整版翘曲测量;所述整版翘曲测量结果合格后,进行边部翘曲测量。
可选的,根据边部翘曲测量结果与翘曲阈值的比较,判定该玻璃基板是否合格。
可选的,以所述玻璃基板的一侧为基准,所述边部翘曲测量包括近端翘曲测量、远端翘曲测量、上端翘曲测量和下端翘曲测量。
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