[发明专利]一种玻璃基板翘曲的检测方法及装置在审
申请号: | 202110898069.0 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN113834462A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;王俊明;郭以深;张志刚;赵玉乐;王光祥;刘言昌;杨山立;李东东 | 申请(专利权)人: | 山西光兴光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司 |
主分类号: | G01B21/32 | 分类号: | G01B21/32 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 肖冰滨;王晓晓 |
地址: | 030000 山西省太原市唐槐园区唐槐路9*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 基板翘曲 检测 方法 装置 | ||
1.一种玻璃基板翘曲的检测方法,其特征在于,包括:
获取成品尺寸的玻璃基板;
对该玻璃基板进行整版翘曲测量和边部翘曲测量;
根据所述整版翘曲测量结果和边部翘曲测量结果,判断该玻璃基板是否合格。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
对所述玻璃基板进行清理后进行整版翘曲测量;
所述整版翘曲测量结果合格后,进行边部翘曲测量。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
根据边部翘曲测量结果与翘曲阈值的比较,判定该玻璃基板是否合格。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述整版翘曲测量时,横向采样步距为5-50mm,纵向采样步距为5-50mm;
所述边部翘曲测量时,横向采样步距为5-10mm,纵向采样步距为5-10mm。
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法,其特征在于,
以所述玻璃基板的一侧为基准,所述边部翘曲测量包括近端翘曲测量、远端翘曲测量、上端翘曲测量和下端翘曲测量。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,
所述近端翘曲测量包括:测量一组数据,获取该测量数据的最大值为近端翘曲值。
7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,
所述远端翘曲测量包括:测量一组数据,获取该测量数据的最大值为远端翘曲值。
8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,
根据上端翘曲测量获取玻璃基板的上端翘曲值、近上角翘曲值、远上角翘曲值。
9.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,
根据下端翘曲测量获取玻璃基板的下端翘曲值、近下角翘曲值、远下角翘曲值。
10.一种玻璃基板翘曲的检测装置,其特征在于,包括:
获取单元,用于获取成品尺寸的玻璃基板;
测量单元,用于对该玻璃基板进行整版翘曲测量和边部翘曲测量;
判定单元,根据所述整版翘曲测量结果和边部翘曲测量结果,检测该玻璃基板是否合格。
11.根据权利要求10所述的装置,其特征在于,
对所述玻璃基板进行清理后进行整版翘曲测量;
所述整版翘曲测量结果合格后,进行边部翘曲测量。
12.根据权利要求10所述的装置,其特征在于,
根据边部翘曲测量结果与翘曲阈值的比较,判定该玻璃基板是否合格。
13.根据权利要求10所述的装置,其特征在于,
以所述玻璃基板的一侧为基准,所述边部翘曲测量包括近端翘曲测量、远端翘曲测量、上端翘曲测量和下端翘曲测量。
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