[发明专利]一种可变磁场约束的等离子体射流装置及其方法有效
申请号: | 202110898034.7 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN113573454B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 李冰妍 | 申请(专利权)人: | 富时精工(南京)有限公司 |
主分类号: | H05H1/10 | 分类号: | H05H1/10;H05H1/46 |
代理公司: | 南京鑫之航知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32410 | 代理人: | 姚兰兰 |
地址: | 211199 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可变 磁场 约束 等离子体 射流 装置 及其 方法 | ||
1.一种可变磁场约束的等离子体射流装置,其特征在于:包括等离子体射流装置(100),所述等离子体射流装置(100)包括高压射频发生器(102)、安装在所述高压射频发生器(102)上气体供应管(103)、高压射频发生器(102)侧壁柔性管(104)、以及安装在所述柔性管(104)末端的等离子体发生器(101);所述等离子体发生器(101)内设有用于放等离子体射流的中枢电极(106)、用于密封中枢电极(106)的绝缘密封体(105)、穿过柔性管(104)接通所述气体供应管(103)的气流出口(107)、以及位于等离子体发生器(101)底部设置的等离子体射出部(108);还包括可变开端约束机构(200)、用于调节可变开端约束机构(200)的调节机构(300)、以及联动调节机构(300)的联动机构(400);
所述可变开端约束机构(200)设置在等离子体发生器(101)的内腔中并位于中枢电极(106)的下端,且可变开端约束机构(200)的底端延伸至等离子体射出部(108);
所述调节机构(300)位于可变开端约束机构(200)的侧方并安装在等离子体发生器(101)中,所述调节机构(300)可控制可变开端约束机构(200)中磁感线运动轨迹和强度;
所述联动机构(400)与调节机构(300)的底部连接,且联动机构(400)用于固定限位可变开端约束机构(200)中的磁感线发生机构;
所述可变开端约束机构(200)设置为第一约束机构(210);所述第一约束机构(210)包括位于中枢电极(106)正下方的管体(211)、缠绕在管体(211)外壁的中部线圈(212)、位于中部线圈(212)上方的上部线圈(213a)和预调节线圈(214),以及位于中部线圈(212)的下部线圈(213b);所述预调节线圈(214)、上部线圈(213a)、中部线圈(212)和下部线圈(213b)为单一线体设置并通电,所述上部线圈(213a)、下部线圈(213b)和预调节线圈(214)的绕组间距为一致,且上部线圈(213a)、下部线圈(213b)和预调节线圈(214)的绕组间距小于中部线圈(212)3-5倍设置,所述上部线圈(213a)、下部线圈(213b)的长度相同,所述预调节线圈(214)的长度大于所述上部线圈(213a)和下部线圈(213b),所述中部线圈(212)的长度设置大于3倍的所述下部线圈(213b)的长度;
所述调节机构(300)包括连接联动机构(400)的直杆(301),通过销轴活动连接在所述直杆(301)顶端的连杆(302),以及安装在连杆(302)末端的压板(303),所述压板(303)设置在等离子体发生器(101)的外侧,所述等离子体发生器(101)的侧壁开设有供连杆(302)运动的楔形孔;所述直杆(301)的外壁套设有复位弹簧(305),且直杆(301)的外壁套设有限位导套(304),所述复位弹簧(305)的顶部固定连接直杆(301)且复位弹簧(305)的底端抵接限位导套(304),所述直杆(301)贯穿式活动连接绝缘密封体(105);
所述联动机构(400)包括横向敞口状的固定部(401),固定连接固定部(401)侧壁的圆杆(402),套设在圆杆(402)外壁的框体(403),与圆杆(402)末端一体成型的延长杆(405),以及安装在框体(403)内腔侧壁上和延长杆(405)末端相互匹配的第一电磁阀组件(404);所述延长杆(405)的外壁设有固定套(406),所述固定套(406)固定安装在框体(403)中,且固定套(406)远离第一电磁阀组件(404)的一侧安装有第二电磁阀组件(407)和套簧(408)。
2.根据权利要求1所述的一种可变磁场约束的等离子体射流装置,其特征在于:所述联动机构(400)位于上部线圈(213a)和预调节线圈(214)之间设置,所述气流出口(107)设置在管体(211)的上方。
3.根据权利要求1所述的一种可变磁场约束的等离子体射流装置,其特征在于:所述第二电磁阀组件(407)的电磁吸附部设置在圆杆(402)的末端,所述套簧(408)套设在延长杆(405)的外壁上并抵接圆杆(402)的末端面。
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