[发明专利]一种铝包套脱气管的闭气方法

说明书

本发明提供了一种铝包套脱气管的闭气方法，所述的闭气方法包括：采用液压装置压扁脱气管的部分管段后，将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。在本发明中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。

技术领域

本发明属于溅射靶材技术领域，涉及脱气管的闭气方法，尤其涉及一种铝包套脱气管的闭气方法。

背景技术

大规模集成电路使用溅射靶材进行真空溅镀。用粉末冶金的方法制作溅射靶材时，粉末等静压成型时容易发生氧化现象，需将粉末装入包套内，经过脱气处理，再将包套密封，然后放入等静压炉中进行致密化；溅射靶材与背板在进行扩散焊接时，也需要先制作相应包套来防止氧化，经过脱气处理，再将包套密封，然后放入等静压炉中进行焊接。

CN102554571B公开了一种脱气管的密封方法，所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；所述密封方法包括：将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行热处理，所述热处理温度为900℃～1100℃；对热处理后的所述第一端进行多次夹扁处理，形成多个夹扁处；对离所述真空包套最远的夹扁处进行夹断处理。该发明提供的脱气管密封方法，可以解决真空包套内的真空度不能维持以及在后续的包套冷却、储运过程中出现缝隙和漏气现象的技术问题，并且具有工艺简单、操作方便，密封效果好的优点。

CN103962798B公开了一种管的密封方法，在将金属制的管部件压瘪而形成密封部分时，能够对包含密封部分的两端部的整个密封部分进行压瘪，能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。在压紧模下降而压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离为管部件的壁厚t的2倍亦即2t的位置，下承接金属模的承接部的底部具备延伸设置部，该延伸设置部在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中比两端部更向上方延伸设置。

CN102513797B公开了一种脱气管的密封方法，所述密封方法包括：所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行冷却处理；对冷却处理后的所述脱气管的第一端进行压扁处理，形成压扁区；对所述压扁区进行截断处理。该发明提供的脱气管密封方法可以解决真空包套内的真空度不能维持以及在后续的包套冷却、储运过程中出现缝隙和漏气现象等技术问题，并且具有工艺简单、操作方便、密封效果好的优点。

为实现脱气功能，包套需与真空设备进行连接，一般所采用的方法是在包套上打孔，并在打孔处焊接一根脱气管，脱气管再通过法兰与真空设备进行连接。待脱气完成后，将脱气管做闭气处理，所述闭气处理是将脱气管进行密封。而现有技术中，对脱气管的密封处理工艺涉及较少，因此，如何将脱气管进行密封处理成为目前亟待解决的问题之一。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种铝包套脱气管的闭气方法，在本发明中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种铝包套脱气管的闭气方法，所述的闭气方法包括：

采用液压装置压扁脱气管的部分管段后，将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。

在本发明中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。

作为本发明一种优选的技术方案，所述的液压装置为液压钳。