[发明专利]一种多孔气体分流板镀膜系统有效

专利信息
申请号: 202110884531.1 申请日: 2021-08-03
公开(公告)号: CN113564591B 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 张海飞;张洪国;王浩增;焦恒刚 申请(专利权)人: 江苏鹏举半导体设备技术有限公司
主分类号: C23C26/00 分类号: C23C26/00;C23C16/455;F26B21/00
代理公司: 南通鼎点知识产权代理事务所(普通合伙) 32442 代理人: 胡建锋
地址: 226000 江苏省南通市开*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多孔 气体 分流 镀膜 系统
【权利要求书】:

1.一种多孔气体分流板镀膜系统,其特征在于:包括进样机构(1)、镀膜机构(2)和退火机构(3),所述进样机构(1)能够将多孔气体分流板逐个输送至所述镀膜机构(2),所述镀膜机构(2)对所述多孔气体分流板进行镀膜,所述退火机构(3)对镀好膜的多孔气体分流板进行退火;所述镀膜机构(2)包括镀膜输送带(201)、升降平台(202)、主轴(203)、镀头安装座(204)、镀头(205)、镀膜剂输送旋转接头(206)和第一驱动电机(207),所述升降平台(202)设置于所述镀膜输送带(201)正上方,所述主轴(203)和第一驱动电机(207)设置于所述升降平台(202),所述第一驱动电机(207)驱动所述主轴(203)旋转,所述镀头安装座(204)设置于所述主轴(203)下端,所述镀头(205)设置于所述镀头安装座(204),所述镀膜剂输送旋转接头(206)设置于所述主轴(203),所述主轴(203)内设有镀膜剂输送管(208),所述镀膜剂输送管(208)上端与所述镀膜剂输送旋转接头(206)连通,下端与所述镀头(205)连通;所述多孔气体分流板上沿径向均布有出气孔,所述镀头(205)内设有与所述出气孔对应设置的活动镀头(209),还包括驱动装置,所述驱动装置驱动所述活动镀头(209)从所述镀头(205)内旋转伸出。

2.根据权利要求1所述的一种多孔气体分流板镀膜系统,其特征在于:所述进样机构(1)包括样盒(101)、送样台(102)和推送装置(103),所述样盒(101)底部通过支撑脚(104)设置于所述送样台(102),所述样盒(101)底部设有出料口(105),所述出料口(105)距离所述送样台(102)台面的距离大于一块多孔气体分流板的厚度,且小于两块多孔气体分流板的厚度,所述推送装置(103)将所述样盒(101)内最下面一块多孔气体分流板推出。

3.根据权利要求2所述的一种多孔气体分流板镀膜系统,其特征在于:所述推送装置(103)包括电机(106)、转盘(107)、连杆(108)和推送杆(109),所述电机(106)驱动所述转盘(107)旋转,所述连杆(108)一端铰接所述转盘(107)边缘处,另一端铰接所述推送杆(109)一端,所述送样台(102)设有滑槽,所述推送杆(109)在所述滑槽内往复移动,所述推送杆(109)的厚度小于等于一块多孔气体分流板的厚度。

4.根据权利要求1所述的一种多孔气体分流板镀膜系统,其特征在于:所述镀头安装座(204)设有与所述活动镀头(209)对应设置的活动块(210),所述活动镀头(209)对应设置于所述活动块(210),所述镀头安装座(204)内设有供所述活动块(210)上下移动的活动槽(211),所述活动槽(211)上下具有开口,所述活动槽(211)上下开口对所述活动块(210)进行限位,所述活动镀头(209)能够从所述下开口伸出,所述活动槽(211)上开口设有能够吸住所述活动块(210)的第一磁铁(212)。

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