[发明专利]用于柔性物料的平整方法和装置

说明书

本发明公开了一种用于柔性物料的平整方法，柔性物料包括检测部和围设在检测部外围的辅料部，包括以下步骤：用具有空心部的定位单元将柔性物料固定在承载平台上，定位单元压设在辅料部上，空心部与检测部对应设置；将空心部远离承载平台的一端闭合，以使空心部密封；向空心部注入正压气体，在空心部形成向所有面施压的正压力，从而压平检测部。本发明可以实现在不接触柔性物料的情况下使得柔性物料中的检测部压平的效果，从而使其可以进行后续检测，避免了压伤或破坏柔性物料的情况。且整个方法中由于设定了预设压力值，使得正压气体对于检测部各部分施加的作用力保持相同，使得平整效果较佳。

技术领域

本发明涉及了柔性物料处理领域，具体的是一种用于柔性物料的平整方法和装置。

背景技术

柔性物料在实际使用过程中存在需要展平后对其进行检测的步骤。现有的用于柔性物料的平整方法是通过刚性材料对柔性物料进行平整操作，但可能会对柔性物料产生压伤或破坏。为解决这一问题，现有的行业常规做法为寻找超柔性薄膜平压产品，但是柔性薄膜刚性不足，无法对柔性物料实施有效的平面定位、压紧和整形的操作。

发明人为解决上述问题，尝试使用一种非接触式的平面定位平整方法，其通过承载平台和在承载平台上开设的真空吸附微孔，将柔性物料放置在承载平台的平面部上并对真空吸附微孔进行吸真空处理，意图从承载平台远离柔性物料的一端对其进行吸附从而达到柔性物料平整的效果。但经过尝试发现这种点吸的方式对于柔性物料施加的作用力并不均匀，平整效果不佳。此外发明人还尝试使用气枪从柔性物料背离承载平台的一端朝其喷射气体，但发现气枪中的气体存在振动，无法在对于柔性物料实现平整的状态下使得柔性物料仍然保持位置固定。

发明内容

为了克服现有技术中的缺陷，本发明实施例提供了一种用于柔性物料的平整方法和装置，其用于解决上述对柔性物料产生压伤或破坏以及平整效果不佳的问题。

本申请实施例公开了：一种用于柔性物料的平整方法，所述柔性物料包括检测部和围设在所述检测部外围的辅料部，包括以下步骤：用具有空心部的定位单元将柔性物料固定在承载平台上，所述定位单元压设在辅料部上，所述空心部与所述检测部对应设置；将所述空心部远离所述承载平台的一端闭合，以使所述空心部密封；向所述空心部注入正压气体，在所述空心部形成向所有面施压的正压力，从而压平所述检测部。

进一步地，所述柔性物料包括PU薄膜和设置在所述PU薄膜检测部上的晶圆，设定所述空心部的压力为0.5MPA-0.7MPA。

本申请实施例还提供了一种用于柔性物料的平整装置，所述柔性物料包括检测部和围设在所述检测部外围的辅料部，所述平整装置包括：承载平台，所述承载平台具有用于所述柔性物料设置于其上的平面部；定位单元，所述定位单元压设于所述辅料部远离所述平面部的一侧，所述定位单元具有在垂直于所述平面部的方向上贯通的空心部，所述空心部与所述检测部对应设置，所述定位单元贯通开设有自临近所述空心部向着远离所述空心部的气流通道；密封部，所述密封部设置于所述空心部远离所述承载平台的一侧并使所述空心部密封；气源，所述气源与所述气流通道连通，以能向所述气流通道输入气体从而使空心部达到预设压力，所述气源能在所述空心部处于预设压力时停止向所述气流通道输入气体。

进一步地，所述密封部为透明的光学玻璃。

进一步地，包括固定单元，所述固定单元邻接于所述定位单元和所述承载平台，所述固定单元与所述定位单元和所述承载平台螺纹连接。

进一步地，多个所述固定单元设置在所述定位单元的远离所述空心部的一端。

进一步地，所述定位单元具有与所述平面部平行的第一平面和第二平面，所述密封部临近所述平面部的一侧与所述平面部平行，所述第一平面与所述辅料部抵接，所述第二平面与所述密封部抵接。

进一步地，所述密封部与所述定位单元固定连接。