[发明专利]用于柔性物料的平整方法和装置

权利要求书

1.一种用于柔性物料的平整方法，所述柔性物料包括检测部和围设在所述检测部外围的辅料部，其特征在于，包括以下步骤：

用具有空心部的定位单元将柔性物料固定在承载平台上，所述定位单元压设在辅料部上，所述空心部与所述检测部对应设置；

将所述空心部远离所述承载平台的一端闭合，以使所述空心部密封；

向所述空心部注入正压气体，在所述空心部形成向所有面施压的正压力，从而压平所述检测部。

2.根据权利要求1所述的用于柔性物料的平整方法，其特征在于，所述柔性物料包括PU薄膜和设置在所述PU薄膜检测部上的晶圆，设定所述空心部的压力为0.5MPA-0.7MPA。

3.一种用于柔性物料的平整装置，所述柔性物料包括检测部和围设在所述检测部外围的辅料部，其特征在于，所述平整装置包括：

承载平台，所述承载平台具有用于所述柔性物料设置于其上的平面部；

定位单元，所述定位单元压设于所述辅料部远离所述平面部的一侧，所述定位单元具有在垂直于所述平面部的方向上贯通的空心部，所述空心部与所述检测部对应设置，所述定位单元贯通开设有自临近所述空心部向着远离所述空心部的气流通道；密封部，所述密封部设置于所述空心部远离所述承载平台的一侧并使所述空心部密封；

气源，所述气源与所述气流通道连通，以能向所述气流通道输入气体从而使空心部达到预设压力，所述气源能在所述空心部处于预设压力时停止向所述气流通道输入气体。

4.根据权利要求3所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，所述密封部为透明的光学玻璃。

5.根据权利要求3所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，包括固定单元，所述固定单元邻接于所述定位单元和所述承载平台，所述固定单元与所述定位单元和所述承载平台螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，多个所述固定单元设置在所述定位单元的远离所述空心部的一端。

7.根据权利要求3所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，所述定位单元具有与所述平面部平行的第一平面和第二平面，所述密封部临近所述平面部的一侧与所述平面部平行，所述第一平面与所述辅料部抵接，所述第二平面与所述密封部抵接。

8.根据权利要求3所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，所述密封部与所述定位单元固定连接。

9.根据权利要求3所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，所述承载平台开设有自其边缘向其内部凹陷的凹槽，所述凹槽与所述气管接头对应设置。

10.根据权利要求3所述的用于柔性物料的平整装置，其特征在于，所述承载平台与所述定位单元均为铝板。