[发明专利]探针及探针卡装置

权利要求书

1.一种探针，包括：

一主体；以及

该主体的一端部，该端部具有：

一凸出部，设置在该端部的一第一侧上；以及

一凹入部，形成在该端部的一第二侧上，该第一侧相对于该第二侧；其中该凸出部远离该端部凸出，该凹入部朝向该端部凹入，且该凹入部的一尺寸大于该凸出部的一顶部的一尺寸。

2.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的一深度大于该凸出部的该顶部的一厚度。

3.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的一深度在该端部的一宽度的5％到30％的范围内。

4.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的一开口的一开口长度大于该凸出部的该顶部的一长度。

5.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部从该端部的外侧到该端部的内侧逐渐变细。

6.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的形状包括梯形、弧形，或矩形。

7.如权利要求1所述的探针，其中该凸出部的一凸出部形状对应于该凹入部的一凹入部形状。

8.一种探针，包括：

一主体；以及

该主体的一端部，该端部具有：

一凸出部；以及

一凹入部，具有一凹入部形状用以容纳另一探针的一凸出部；

其中当该探针以及该另一探针以阵列排列且该凹入部形状容纳该另一探针的该凸出部时，该凹入部与该另一探针的该凸出部靠近。

9.如权利要求8所述的探针，其中当该探针以及该另一探针以阵列排列时，该凹入部的一凹入部位置对应于该另一探针的该凸出部的一凸出部位置。

10.一种探针卡装置，包括：

一第一卡盘；以及

多个探针，其穿过该第一卡盘排列，包括：

一第一探针，其具有：

一第一主体；以及

该第一主体的一端部，且该端部具有：

一第一凹入部；以及

一第一凸出部；以及

一第二探针，其具有：

一第二主体；以及

该第二主体的一端部，且该端部具有：

一第二凹入部；以及

一第二凸出部，其延伸到该第一凹入部中；

其中该第一凹入部与该第二凸出部靠近，该第二凸出部的一凸出部位置对应于该第一凹入部的一凹入部位置。

11.如权利要求10所述的探针卡装置，其中一距离在该第一主体的该端部与该第二主体的该端部之间，且该距离小于该第二凸出部的一厚度。

12.如权利要求10所述的探针卡装置，其中该第二凸出部的一凸出部形状对应于该第一凹入部的一凹入部形状。

13.如权利要求10所述的探针卡装置，其中该第一卡盘具有多个第一通孔用以容纳该探针。

14.如权利要求13所述的探针卡装置，还包括：

一第二卡盘，其平行于该第一卡盘且具有多个第二通孔以容纳该探针。

15.如权利要求14所述的探针卡装置，容纳同一探针的该第一通孔以及该第二通孔在垂直于该第一卡盘以及该第二卡盘的一方向偏移。