[发明专利]一种晶体定向方法在审
申请号: | 202110860211.2 | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN113702409A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 彭杰;周一;毕洪伟 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N23/20016 | 分类号: | G01N23/20016;G01N23/20 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 黄宗波 |
地址: | 404000 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 定向 方法 | ||
1.一种晶体定向方法,在薄片的主面上标记一个指向晶体大边的箭头,其特征在于:按照公式1和公式2分别计算出内圆切割机的X0、Y0轴调整值,
X0=X cosθ+Y sinθ (公式1)
Y0=-X sinθ+Y cosθ (公式2)
其中:
θ指大边与竖直方向的夹角,x1、x2、y1、y2分别为箭头朝向左、右、下、上时,箭头方向分别对应的角度偏转值。
2.根据权利要求1所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述晶体定向的方法,具体包括以下步骤,
S1、切割晶体形成薄片,在薄片的主面上标记一个指向晶体大边的箭头;
S2、取得大边与竖直方向的夹角θ;
S3、分别测量出箭头指向的左、右、下、上所对应的x1、x2、y1、y2的值;
S4、按照公式1和公式2分别计算出内圆切割机的X0、Y0轴调整值,、
X0=X cosθ+Y sinθ (公式1)
Y0=-X sinθ+Y cosθ (公式2)
其中:
S5、按照计算得出的X0、Y0调整内圆切割机上的X、Y轴。
3.根据权利要求2所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述步骤S2中使用角度测量仪测量大边与水平方向的夹角再加上90°得到θ。
4.根据权利要求3所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述步骤S3中,将薄片掰成正方形的方片,测量时将正方形的方片使用真空吸气系统吸附于X射线衍射仪的测量台面上,打开X射线衍射仪对方片分别进行箭头指向为左、右、下、上的四个方位的角度测量。
5.根据权利要求4所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述正方形的方片的尺寸为10mm×10mm。
6.根据权利要求5所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述薄片的切割方法为,将晶体安装与卡具上,卡具安装于内圆切割机的滑动导轨上,并将卡具的底座固定于滑动导轨的伸缩机构上;调整内圆切割机的X、Y轴的数值,使其归零;设定伸缩机构进刀量,使其晶体需定向面与其锯片保持于同一竖直线;再次给予伸缩机构进给量,使其晶体在锯片的切割作用下,能形成适宜厚度的薄片;启动内圆切割机,上升滑动导轨的位置,使其锯片切割晶体形成薄片。
7.根据权利要求1-6任一权利要求所述的一种晶体定向方法,其特征在于:至少2次的重复切片测量计算调整过程,直至计算所得到的X0、Y0值在误差范围内,停止取片过程,进刀削平后定向过程结束。
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