[发明专利]一种晶体定向方法在审

专利信息
申请号: 202110860211.2 申请日: 2021-07-28
公开(公告)号: CN113702409A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 彭杰;周一;毕洪伟 申请(专利权)人: 威科赛乐微电子股份有限公司
主分类号: G01N23/20016 分类号: G01N23/20016;G01N23/20
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 黄宗波
地址: 404000 重庆市*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体 定向 方法
【权利要求书】:

1.一种晶体定向方法,在薄片的主面上标记一个指向晶体大边的箭头,其特征在于:按照公式1和公式2分别计算出内圆切割机的X0、Y0轴调整值,

X0=X cosθ+Y sinθ (公式1)

Y0=-X sinθ+Y cosθ (公式2)

其中:

θ指大边与竖直方向的夹角,x1、x2、y1、y2分别为箭头朝向左、右、下、上时,箭头方向分别对应的角度偏转值。

2.根据权利要求1所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述晶体定向的方法,具体包括以下步骤,

S1、切割晶体形成薄片,在薄片的主面上标记一个指向晶体大边的箭头;

S2、取得大边与竖直方向的夹角θ;

S3、分别测量出箭头指向的左、右、下、上所对应的x1、x2、y1、y2的值;

S4、按照公式1和公式2分别计算出内圆切割机的X0、Y0轴调整值,、

X0=X cosθ+Y sinθ (公式1)

Y0=-X sinθ+Y cosθ (公式2)

其中:

S5、按照计算得出的X0、Y0调整内圆切割机上的X、Y轴。

3.根据权利要求2所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述步骤S2中使用角度测量仪测量大边与水平方向的夹角再加上90°得到θ。

4.根据权利要求3所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述步骤S3中,将薄片掰成正方形的方片,测量时将正方形的方片使用真空吸气系统吸附于X射线衍射仪的测量台面上,打开X射线衍射仪对方片分别进行箭头指向为左、右、下、上的四个方位的角度测量。

5.根据权利要求4所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述正方形的方片的尺寸为10mm×10mm。

6.根据权利要求5所述的一种晶体定向方法,其特征在于:所述薄片的切割方法为,将晶体安装与卡具上,卡具安装于内圆切割机的滑动导轨上,并将卡具的底座固定于滑动导轨的伸缩机构上;调整内圆切割机的X、Y轴的数值,使其归零;设定伸缩机构进刀量,使其晶体需定向面与其锯片保持于同一竖直线;再次给予伸缩机构进给量,使其晶体在锯片的切割作用下,能形成适宜厚度的薄片;启动内圆切割机,上升滑动导轨的位置,使其锯片切割晶体形成薄片。

7.根据权利要求1-6任一权利要求所述的一种晶体定向方法,其特征在于:至少2次的重复切片测量计算调整过程,直至计算所得到的X0、Y0值在误差范围内,停止取片过程,进刀削平后定向过程结束。

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