[发明专利]一种负压过氧化氢检测仪校准装置及其校准方法

权利要求书

1.一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，包括校准真空腔体（1）、过氧化氢检测仪标准器（2）、压力控制装置（3）、温度控制装置（4）和过氧化氢汽化装置（5）；过氧化氢检测仪标准器（2）、压力控制装置（3）、温度控制装置（4）和过氧化氢汽化装置（5）分别与校准真空腔体（1）密封连接，过氧化氢浓度传感部分、压力温度传感部分均设置在腔体内部；校准真空腔体（1）中的校准安装孔（14）用于密封安装被校过氧化氢检测仪。

2.根据权利要求1所述的一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，所述的校准真空腔体（1）外壳为不锈钢机械箱体（11），加热层（12）紧密连接在不锈钢箱体（11）外侧，保温层（13）紧密连接在加热层（12）外侧，校准安装孔（14）安装在校准真空腔体（1）侧面或上表面，用于密封安装校准完成的过氧化氢检测仪。

3.根据权利要求1所述的一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，所述的过氧化氢检测仪标准器（2）通过激光发射准直模块（21）、测量光腔（22）、压力及温度测量模块（23）、光电检测及谐波提取模块（24）和数据处理及显示模块（25）依次连接构成；其中测量光腔（22）由法兰盘（221）、腔体（222）和激光回射器（223）依次从校准真空腔体（1）外侧向内侧连接组成，所述的激光发射准直模块（21）发射调制准直激光，经法兰盘（221）上的窗口片入射并在腔体（222）中传输，遇到激光回射器（223）反射传输后再经法兰盘（221）上的窗口片出射，出射光由光电检测及谐波提取模块（24）探测并二次谐波提取；压力及温度测量模块（23）实时监测校准真空腔体（1）内部压力及温度；数据处理及显示模块（25）接收二次谐波值、压力值及温度值，经压力、温度补偿和浓度反演后实时输出气相过氧化氢浓度标准值。

4.根据权利要求1所述的一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，所述的压力控制装置（3）由压力控制电路（31）、空气过滤器（32）、第一真空阀（33）、真空泵（34）、第二真空阀（35）、压力计（36）及连接气管构成；所述的压力控制装置（3）中，空气过滤器（32）与第一真空阀（33）经连接气管与校准真空腔体（1）密封连接；真空泵（34）与第二真空阀（35）经连接气管与校准真空腔体（1）密封连接；压力计（36）经连接气管与校准真空腔体（1）密封连接；压力控制电路（31）分别与第一真空阀（33）、真空泵（34）和第二真空阀（35）连接，调节并控制校准真空腔体（1）内部压力大小。

5.根据权利要求1所述的一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，所述的温度控制装置（4）由温度控制电路（41）与第一温度传感器（42）、第二温度传感器（43）和风扇（44）连接而成；所述的温度控制装置（4）中，第一温度传感器（42）无缝插入校准真空腔体（1）内部，测量腔体内部气体温度；第二温度传感器（43）无缝插入校准真空腔体（1）的加热层（12）中，测量加热层（12）的加热温度；风扇（44）用于提高校准真空腔体（1）中气体均匀性。

6.根据权利要求1所述的一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，所述过氧化氢汽化装置（5）由汽化控制电路（51）、真空阀（52）和汽化室（53）构成；所述过氧化氢汽化装置（5）中，汽化室（53）经真空连接管与真空阀（52）相连，真空阀（52）经真空连接管与校准真空腔体（1）无缝连接，汽化控制电路（51）与真空阀（52）、汽化室（53）连接，控制过氧化氢的注射和汽化；所述的汽化室（53）开有液体注入喷嘴，同时室内底部具有加热功能。

7.一种负压过氧化氢检测仪校准方法，其特征是，采用权利要求1~6任一项所述的一种负压过氧化氢检测仪校准装置，其特征是，包括以下步骤：通过压力控制装置（3）和温度控制装置（4）为校准真空腔体（1）内部提供特定的压力和温度环境；通过过氧化氢汽化装置（5）为校准真空腔体（1）内部提供特定的气相过氧化氢浓度；过氧化氢检测仪标准器（2）实时测量校准真空腔体（1）内部的气相过氧化氢浓度，用气相过氧化氢浓度稳定时的测量值对固定在校准安装孔（14）处的被校过氧化氢检测仪进行校准。