[发明专利]极紫外光光刻方法和系统

权利要求书

1.一种极紫外光光刻方法，所述方法包括：

获取极紫外光光刻请求；

根据所述极紫外光光刻请求生成液滴靶材，并生成所述液滴靶材对应的多路脉冲激光；

将所述多路脉冲激光聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体，所述多路脉冲激光同时作用于所述液滴靶材；

采集所述激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于所述光刻光源完成所述极紫外光光刻请求对应的光刻任务；

所述将所述多路脉冲激光聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化包括：

基于预设入射方向，将所述多路脉冲激光分别入射、并聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化；

所述基于预设入射方向，将所述多路脉冲激光分别入射、并聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化包括：

将按照预设入射方向分别入射的多路脉冲激光通过非相干叠加聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化；

所述采集所述激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源之前，还包括：

获取所述激光等离子体的漂移数据以及扩散数据；

根据所述漂移数据以及扩散数据确定所述液滴靶材的形态发展规律，基于所述液滴靶材的形态发展规律调整所述多路脉冲激光的功率、数量以及空间排列方式，以使所述激光等离子体呈现更利于收集其所发出光的形态，并得到修正后的激光等离子体；

所述采集所述激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源包括：

采集所述修正后的激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多路脉冲激光为对于所述液滴靶材，位于不同位置，入射角度各不相同的激光。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多路脉冲激光由按照特定方式排列的多个光纤激光器来产生，所述特定排列方式用于使多路激光脉冲从不同的方向击打液滴靶材。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光等离子体包括球壳形的激光等离子体以及月牙形的激光等离子体。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光等离子体的形态包括分离的等离子体团簇形态。

6.一种极紫外光光刻系统，其特征在于，所述系统包括：

液滴发生模块，用于产生液滴靶材；

光纤激光器，用于生成脉冲激光；

光学聚焦模块：用于将多台所述光纤激光器发出的脉冲激光聚焦汇聚于所述液滴靶材；

光刻处理器模块，用于获取极紫外光光刻请求；根据所述极紫外光光刻请求控制所述液滴发生系统生成液滴靶材，并控制所述光纤激光器生成所述液滴靶材对应的多路脉冲激光；将所述多路脉冲激光聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体；采集所述激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于所述光刻光源完成所述极紫外光光刻请求对应的光刻任务，所述多路脉冲激光同时作用于所述液滴靶材；

所述光刻处理器模块具体用于：基于预设入射方向，将所述多路脉冲激光分别入射、并聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化；

所述光刻处理器模块具体用于：将按照预设入射方向分别入射的多路脉冲激光通过非相干叠加聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等离子体化；

所述光刻处理器模块具体用于：获取所述激光等离子体的漂移数据以及扩散数据；根据所述漂移数据以及扩散数据确定所述液滴靶材的形态发展规律，基于所述液滴靶材的形态发展规律调整所述多路脉冲激光的功率、数量以及空间排列方式，以使所述激光等离子体呈现更利于收集其所发出光的形态，并得到修正后的激光等离子体，采集所述修正后的激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述多路脉冲激光为对于所述液滴靶材，位于不同位置，入射角度各不相同的激光。