[发明专利]折叠型马赫曾德尔调制器

权利要求书

1.一种折叠型马赫曾德尔调制器，包括N个沿长度方向延伸的射频调制区和N-1个转弯区，N≥2，折叠型马赫曾德尔调制器包括：

分光元件，包括第一输入端、第一输出端和第二输出端；

合光元件，包括第二输入端、第三输入端和第三输出端；

第一波导臂和第二波导臂，材料为电光材料且整体呈折叠状，第一波导臂和第二波导臂在每个转弯区一体交叉，第一波导臂连接第一输出端和第二输入端，第二波导臂连接第二输出端和第三输入端；及

射频电极，包括整体呈折叠状且无交叉依次排列的第一地电极、第一信号电极和第二地电极，在每个射频调制区，第一地电极和第一信号电极配置为向第一波导臂施加射频电压，第二地电极和第一信号电极配置为向第二波导臂施加射频电压。

2.根据权利要求1所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，第一波导臂和第二波导臂在每个转弯区一体垂直交叉。

3.根据权利要求1所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，第一地电极、第一信号电极和第二地电极在转弯区呈同心圆弧状弯曲。

4.根据权利要求1所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，

第一波导臂和第二波导臂与第一地电极、第一信号电极和第二地电极的转弯同步；或者

第一波导臂和第二波导臂相比第一地电极、第一信号电极和第二地电极的转弯滞后；或者

第一波导臂和第二波导臂相比第一地电极、第一信号电极和第二地电极的转弯超前。

5.根据权利要求1所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，

折叠型马赫曾德尔调制器包括依次设置的衬底、隔离层、波导层、电极层、绝缘材料层和电桥层，其中，

第一波导臂和第二波导臂位于波导层；

第一信号电极的一部分位于电极层，一部分位于电桥层，且第一信号电极的位于电桥层的部分与第一信号电极的位于电极层的部分电连接，在垂直于衬底的方向上，第一信号电极的位于电桥层的部分与第一波导臂、第二波导臂有交叠。

6.根据权利要求5所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，

第一地电极的一部分位于电极层，一部分位于电桥层，且第一地电极的位于电桥层的部分与第一地电极的位于电极层的部分电连接，在垂直于衬底的方向上，第一地电极的位于电桥层的部分与第一波导臂、第二波导臂有交叠；和/或

第二地电极的一部分位于电极层，一部分位于电桥层，且第二地电极的位于电桥层的部分与第二地电极的位于电极层的部分电连接，在垂直于衬底的方向上，第二地电极的位于电桥层的部分与第一波导臂、第二波导臂有交叠。

7.根据权利要求5所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，

第一地电极位于电极层，并且在垂直于衬底的方向上，第一地电极与第一波导臂、第二波导臂无交叠；或者

第一地电极的一部分位于电极层，一部分位于电桥层，且第一地电极的位于电桥层的部分与第一地电极的位于电极层的部分电连接，在垂直于衬底的方向上，第一地电极的位于电桥层的部分与第一波导臂、第二波导臂无交叠。

8.根据权利要求5所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，

第二地电极位于电极层，并且在垂直于衬底的方向上，第二地电极与第一波导臂、第二波导臂无交叠；或者

第二地电极的一部分位于电极层，一部分位于电桥层，且第二地电极的位于电桥层的部分与第二地电极的位于电极层的部分电连接，在垂直于衬底的方向上，第二地电极的位于电桥层的部分与第一波导臂、第二波导臂无交叠。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的折叠型马赫曾德尔调制器，其中，

波导层为脊波导层，包括平板层和位于平板层之上的脊凸层，第一波导臂和第二波导臂位于脊凸层，电极层形成在平板层的远离衬底的表面；或者

波导层为脊波导层，包括平板层和位于平板层之上的脊凸层，第一波导臂和第二波导臂位于脊凸层，平板层具有刻槽，电极层嵌入刻槽内；或者

波导层为包括第一波导臂和第二波导臂的脊凸层，电极层形成在隔离层的远离衬底的表面。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的折叠型马赫曾德尔调制器，还包括：

设于射频电极与分光元件之间、或者设于射频电极与合光元件之间的相位补偿调制模块。