[发明专利]一种准光腔宽频自动测试系统及测试方法在审
| 申请号： | 202110798105.6 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113567750A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 邹翘;赵锐;张升华;王亚海;年夫顺 | 申请（专利权）人： | 中电科思仪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 | 代理人： | 种艳丽 |
| 地址： | 266555 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 准光腔 宽频 自动 测试 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种准光腔宽频自动测试系统，其特征在于：包括滤波板和可编程控制电机；滤波板固定在可编程控制电机上。
2.一种准光腔宽频自动测试方法，其特征在于：采用如权利要求1所述的准光腔宽频自动测试系统，具体包括如下步骤：
步骤1：通过可编程控制电机固定滤波板并调节滤波板高度；随测试系统频率变化自动进行位置调节；
步骤2：分析不同频率测试模式的电场分布，根据主模电场分布确定对应频段的滤波板位置，根据测试频率变化控制调节可编程控制电机固定滤波板位置，得到滤波板的频率和位置对应关系；随测试频率变化控制可编程控制电机的高度变化；
步骤3：控制可编程控制电机根据测试频率上下移动，实现准光腔系统的宽带自动测试。
3.根据权利要求2所述的准光腔宽频自动测试方法，其特征在于：滤波板位置会对测试频率有影响，为保证测试准确性，空腔测试与加载样品测试时应保证滤波板位置一致；测试时首先进行空腔扫描测试，测试主模为TEM00q，逐渐增加q数值，其中q表示模式数值，则测试模式逐渐变化，测试频率逐渐增加，随测试进行，频率升高，每测试一个频点，先调整滤波板位置，然后采集测试数据，对应频率空腔测试结束后，再按照对应模式进行加载样品时的数据采集。
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