[发明专利]一种磁过滤技术制备钠离子电池负极材料的方法

权利要求书

1.一种磁过滤技术制备钠离子电池负极材料的方法，其特征在于：为一种预先进行功能化处理多壁碳纳米管，并将预先功能化处理的多壁碳纳米管做基底，再通过磁过滤筛选射频等离子体的化学气相共沉积技术制备功能化多壁碳纳米管与靶材源的复合材料，所述磁过滤筛选射频等离子体的化学气相共沉积技术为通过将射频等离子体技术、磁过滤技术与化学气相沉积技术联用，将射频放电靶材源引入磁过滤管中进行筛选，达到控制筛选化学气相沉积源，进行化学气相沉积；所述功能化处理包括酸化处理和/或氟化处理；所述靶材源包括硒材源或磷材源。

2.根据权利要求1所述的一种磁过滤技术制备钠离子电池负极材料的方法，其特征在于：先功能化处理多壁碳纳米管，将多壁碳纳米管作为载体，再通过将射频等离子体技术、磁过滤技术与化学气相沉积技术联用，将射频放电靶材源引入磁过滤管中进行筛选，达到控制筛选化学气相沉积源，进行化学气相沉积，并在化学气相沉积装置内抽取真空，经磁过滤筛选后的等离子体可沉积在基材上，形成均匀稳定镀层。

3.根据权利要求1所述的一种磁过滤技术制备钠离子电池负极材料的方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：

S1：将多壁碳纳米管预先进行功能化处理得到功能化多壁碳纳米管；

S2：将S1步骤得到的功能化多壁碳纳米管制成薄膜并进行干燥；

S3：将功能化多壁碳纳米管薄膜基底清洗后固定在沉积腔中的可旋转基座上；

S4：将化学气相沉积装置内抽取真空；

S5：采用等离子对沉积基底的表面进行清洗，去除沉积基底表面的油污及杂质；

S6：将射频放电靶材源引入磁过滤管中进行筛选；

S7：控制磁过滤弯管电流和负偏压；

S8：控制化学气相沉积装置反应室温度；

S9：打开化学气相反应室进气路；

S10：沉积结束后，关闭射频放电、磁过滤电源，释放真空度，得到功能化多壁碳纳米管/半金属的复合材料。

4.根据权利要求3所述的一种磁过滤技术制备钠离子电池负极材料的方法，其特征在于：先功能化处理多壁碳纳米管，将其作为载体，而后的化学气相沉积技术为控制化学气相沉积装置内参数，包括磁过滤弯管电流、负偏压、射频功率、靶材源、真空度、反应室温度、气体种类、流速、沉积时间，其中磁过滤弯管电流1~3A，负偏压为150~350V，射频功率500W~900W，真空度1×10-4~4×10-4Pa，反应室温度为400°C~800°C，气体种类为Ar气或H₂/Ar混合气，流速为150ppm~500 ppm，沉积时间为10min -40min。

5.根据权利要求4所述的一种磁过滤技术制备钠离子电池负极材料的方法，其特征在于：所述H₂/Ar混合气的摩尔流量比例为3:4~1:10。