[发明专利]调节平台

说明书

本发明涉及一种调节平台，包括：支撑件、至少三个弹性件、固定件和驱动组件，所述弹性件的一端与所述支撑件连接，另一端与所述固定件连接；所述驱动组件与所述支撑件连接，所述支撑件在所述驱动组件的带动下使至少一个所述弹性件发生形变和/或至少部分地恢复形变。通过设置驱动组件以及依次连接的支撑件、弹性件和固定件，驱动组件与支撑件连接，驱动组件对支撑件施加不同大小的驱动力，从而使与支撑件连接的弹性件发生形变或者至少部分地恢复形变。

技术领域

本发明涉及精密测量技术领域，特别是涉及一种调节平台。

背景技术

压电陶瓷是一种能将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料。当给压电陶瓷施加一个外力时，压电片会产生电荷，将压力转换为电压。当给压电片施加电场时，压电陶瓷片会产生机械变形，且变形量与电场强度成正比。

目前精密仪器大部分采用压电陶瓷进行精细定位与调整的工作。比如压电扫描台，压电扫描台以压电陶瓷作为驱动源，通过控制电压的微小变化产生非常小的位移，可实现纳米级定位精度。

但是压电陶瓷的制作包括多道工艺，制作过程复杂，特别是使用精密度要求较高的场合，其制作工艺要求更高。且压电陶瓷的成本较高，不能被普遍使用。

发明内容

基于此，有必要针对现有测试仪器中的调节平台成本较高的问题，提供一种调节平台。

一种调节平台，包括：支撑件、至少三个弹性件、固定件和驱动组件，所述弹性件的一端与所述支撑件连接，另一端与所述固定件连接；所述驱动组件与所述支撑件连接，所述支撑件在所述驱动组件的带动下使至少一个所述弹性件发生形变和/或至少部分地恢复形变。

在其中一个实施例中，还包括基体，所述固定件安装于所述基体上。

在其中一个实施例中，所述固定件包括相连的基板和周向壁，所述基体包括中空结构的筒壁，所述基板与所述弹性件连接，所述周向壁与所述筒壁连接。

在其中一个实施例中，所述筒壁上设有第一连接孔，所述周向壁上与所述第一连接孔对应的位置设有第二连接孔。

在其中一个实施例中，所述驱动组件包括牵引部和动力部，所述牵引部具有相对的固定端和自由端，所述牵引部的固定端与所述支撑件连接，自由端与所述动力部连接。

在其中一个实施例中，还包括控制器，所述动力部与所述控制器连接。

在其中一个实施例中，所述支撑件上设有安装孔，所述动力部上设有输出孔，所述安装孔和所述输出孔的中心线重合；所述牵引部的固定端位于所述安装孔内，自由端穿过所述输出孔与所述动力部连接。

在其中一个实施例中，所述弹性件上设有穿线孔，所述固定件上设有出线孔，所述穿线孔和所述出线孔的中心线均与所述安装孔的中心线重合，所述牵引部的自由端依次穿过所述穿线孔和所述出线孔与所述动力部连接。

在其中一个实施例中，包括如下中的至少一种：

所述弹性件和所述支撑件上设有相互配合的凹陷部和凸起结构；

所述弹性件和所述固定件上设有相互配合的低凹部和凸台结构。

在其中一个实施例中，所述支撑件、所述弹性件和所述固定件均为金属材质，所述支撑件的弹性模量和所述固定件的弹性模量均大于所述弹性件的弹性模量。

上述调节平台，通过设置驱动组件以及依次连接的支撑件、弹性件和固定件，驱动组件与支撑件连接，驱动组件对支撑件施加不同大小的驱动力，从而使与支撑件连接的弹性件发生形变或者至少部分地恢复形变。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的调节平台的俯视投影图。

图2为图1的剖视图。