[发明专利]一种漏率检测设备及其充压气装置、充压气控制方法

说明书

本发明公开了一种漏率检测设备及其充压气装置、充压气控制方法，包括：充气腔体1、压力传感器2、人机交互设备3和控制单元4；人机交互设备3至少用于输入控制程序和显示充气参数；控制单元4用于根据输入的控制程序及压力传感器2反馈的压力值控制对充气腔体1执行自动充压气操作。通过人机交互设备实现控制程序的输入和充气参数的显示，使得充压气装置能够根据用户自定义的控制程序对充气腔体执行自动化的充压气操作，避免了人工监控和记录时间导致的压入检测用安全气体的工艺参数不符合要求的问题，大大降低了人为因素的干扰，提升了检测的准确性和检测效率。

技术领域

本发明涉及封装漏率检测技术领域，尤其涉及一种漏率检测设备及其充压气装置、充压气控制方法。

背景技术

现红外探测器制造工艺对其封装后气密性要求非常高，直接决定感应探测器使用寿命，真空封装后需进行漏率检测来判定产品的好坏重要标准。一般来说，半导体封装后检漏的主要方式为通过充压气装置对产品充压检测用安全气体(一般为惰性气体，比如氦气)，然后再将产品放入质谱检漏仪测量其漏率，其中充压气装置进行充压气体的整个操作动作主要依靠人工操作及监控，参数记录全靠人工完成可追溯性差，受人为因素影响较大，易出现压氦气时间和压力不符工艺参数的情况。

综上所述，如何解决漏率检测设备的充压气装置进行充压气操作时受人为因素影响较大，容易出现压入检测用安全气体的工艺参数不符合要求和检测效率低的问题，已经成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种漏率检测设备及其充压气装置、充压气控制方法，以解决漏率检测设备的充压气装置进行充压气操作时受人为因素影响较大，容易出现压入检测用安全气体的工艺参数不符合要求的问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种漏率检测设备的充压气装置，包括：充气腔体、压力传感器、人机交互设备和控制单元；所述充气腔体上设置有进气管和排气管；所述进气管包括并联布置的第一进气管和第二进气管，所述第一进气管的进气口与装载有检测用安全气体的第一气源连通，所述第一进气管上设置有第一电磁阀，所述第二进气管的进气口与用于供应压缩空气的第二气源连通，所述第二进气管上设置有第二电磁阀；所述排气管上设置有第三电磁阀；所述压力传感器设置于所述充气腔体，用于检测所述充气腔体内部压力并反馈至所述控制单元；所述人机交互设备至少用于输入控制程序和显示充气参数；所述控制单元用于根据输入的控制程序及所述压力传感器反馈的压力值控制所述第一电磁阀、所述第二电磁阀和所述第三电磁阀的开闭，以实现对所述充气腔体的自动充压气操作。

优选地，还包括连接于所述控制单元的报警器，当所述控制单元按照所述控制程序对所述充气腔体执行充气操作出现异常及操作结束时，所述控制单元控制所述报警器触发相应的报警提示。

优选地，所述人机交互设备还能够存储并显示所述控制单元的执行参数记录。

优选地，所述充气参数包括充气腔体内的压力及充气时长。

优选地，所述第一气源内储存的检测用安全气体为氦气。

优选地，所述第一进气管上还设置有位于所述第一电磁阀上游的瓶阀。