[发明专利]清洁设备及方法

权利要求书

1.一种清洁设备，用于清洁工件，包括：

第一除静电装置，用于去除所述工件的静电；

超声波清洗装置，用于利用超声波清洗经过所述第一除静电装置去除静电后的所述工件；

擦拭装置，用于擦拭经过所述超声波清洗装置清洗后的所述工件；

第二除静电装置，用于去除经过所述擦拭装置擦拭后的所述工件的静电；

干冰清洗装置，用于利用干冰清洗经过所述第二除静电装置去除静电后的所述工件；及

搬运装置，用于承载所述工件及带动所述工件依次经过所述第一除静电装置、所述超声波清洗装置、所述擦拭装置、所述第二除静电装置和所述干冰清洗装置以清洁所述工件。

2.如权利要求1所述的清洁设备，还设有第一除静电工位，用于清洁所述工件时，所述搬运装置带动所述工件至所述第一除静电工位，以使所述第一除静电装置对所述工件进行除静电，所述第一除静电装置包括：

第一支架；及

离子风棒，设于所述第一支架，所述离子风棒包括沿轴向设置的风口，所述风口朝向所述静电清洁工位设置，用于提供离子风至所述工件以去除静电。

3.如权利要求1所述的清洁设备，还设有超声波清洗工位，用于清洁所述工件时，所述搬运装置带动所述工件至所述超声波清洗工位，以使所述超声波清洗装置清洗所述工件，所述超声波清洗装置包括：

第一驱动机构；

第二支架，设于所述第一驱动机构；及

超声波喷头，设于所述第二支架，且朝向所述超声波清洗工位设置，用于提供超声波气流至所述工件以清洗所述工件；

其中，所述第一驱动机构用于驱动所述超声波喷头按第一预设轨迹运动，所述超声波气流的压力为0.5MPa-0.7MPa。

4.如权利要求1所述的清洁设备，还设有擦拭工位，用于清洁所述工件时，所述搬运装置带动所述工件至所述擦拭工位，以使所述擦拭装置擦拭所述工件，所述擦拭装置包括：

擦拭头；及

第二驱动机构，与所述擦拭头连接，用于驱动所述擦拭头抵压所述擦拭工位上的所述工件并按第二预设轨迹运动；

其中，所述擦拭头包括第一通道，所述第一通道用于导入清洁液。

5.如权利要求4所述的清洁设备，所述擦拭装置还包括：

供料机构，位于所述擦拭头的上侧，用于提供所述擦拭布；及

收料机构，位于所述擦拭头的下侧，用于回收所述擦拭布；

其中所述供料机构与所述收料机构设于所述擦拭头的相对两侧，且使所述擦拭布经过所述擦拭头与所述擦拭工位之间，以使所述擦拭头能抵压所述擦拭布至所述工件以进行擦拭。

6.如权利要求1所述的清洁设备，还设有干冰清洗工位，用于清洁所述工件时，所述搬运装置带动所述工件至所述干冰清洗工位，以使所述干冰清洗装置清洗所述工件，所述干冰清洗装置包括

第三驱动机构；

第三支架，设于所述第三驱动机构；及

干冰喷头，设于所述第三支架，且朝向所述干冰清洗工位设置，用于提供干冰至所述工件以清洗所述工件；

其中，所述第三驱动机构用于驱动所述干冰喷头按第三预设轨迹运动。

7.如权利要求1所述的清洁设备，所述搬运装置为转盘，所述转盘包括：

固定盘；

转动盘，与所述固定盘同轴设置；

第一承载件，设于所述转动盘，用于承载所述工件；及

压紧件，设于所述固定盘，用于压紧所述第一承载件上的所述工件。