[发明专利]一种集成多自由度直线运动的光学系统原位测量机构

权利要求书

1.一种集成多自由度直线运动的光学系统原位测量机构，其特征在于：它包括粉尘带电量测量机构、表面粉尘测量机构、直线位移滑座（6）、回转臂（11）、第一回转杆（12）、第二回转杆（13）和上下运动系统（14），所述直线位移滑座（6）与直线导轨相连，所述直线位移滑座（6）上端通过第一回转轴（9）与回转臂（11）相连，所述回转臂（11）的一端与上下运动系统（14）相连，所述回转臂（11）的另一端通过第二回转轴（8）与第二回转杆（13）相连，所述上下运动系统（14）通过第三回转轴（10）与第一回转杆（12）相连，所述第一回转杆（12）的两端均设置有表面粉尘测量机构，所述第二回转杆（13）的两端均设置有粉尘带电量测量机构，所述粉尘带电量测量机构包括光电倍增管（3）和法拉第杯（7），所述光电倍增管（3）和法拉第杯（7）分别设置在第二回转杆（13）的两端，所述表面粉尘测量机构包括表面电位仪（1）、积分球（2），所述表面电位仪（1）和积分球（2）分别设置在第一回转杆（12）的两端。

2.根据权利要求1所述的一种集成多自由度直线运动的光学系统原位测量机构，其特征在于：所述直线位移滑座（6）上安装有加热片（5）。