[发明专利]几何公差测量设备及其测量方法

权利要求书

1.几何公差测量设备，包括基座(1)及设于基座(1)上的导轨(2)，其特征在于，还包括以下部件：

移动平台(3)、固定平台(4)，所述移动平台(3)、固定平台(4)设于导轨(2)上并沿所述基座(1)的中轴方向分布，所述移动平台(3)能够相对于固定平台(4)沿基座(1)中轴方向在导轨(2)上进行移动；

旋转台(5)，所述旋转台(5)为水平及垂直两转轴的标准转台，设于固定平台(4)上且位于基座(1)的中轴上，所述旋转台(5)上可放置被测仪器；

接收传感器(6)，所述接收传感器(6)设于移动平台(3)上且位于基座(1)的中轴上，用于与被测仪器配合传感；

第一激光干涉仪(7)、第二激光干涉仪(8)，所述第一激光干涉仪(7)、第二激光干涉仪(8)均设于固定平台(4)上，所述第一激光干涉仪(7)、第二激光干涉仪(8)沿中轴对称分布；

第一反射镜(9)、第二反射镜(10)，所述第一反射镜(9)、第二反射镜(10)均设于移动平台(3)上，所述第一反射镜(9)、第二反射镜(10)沿中轴对称分布；

所述第一反射镜(9)与所述第一激光干涉仪(7)的连线、所述第二反射镜(10)与所述第二激光干涉仪(8)的连线均与所述中轴平行。

2.根据权利要求1所述的几何公差测量设备，其特征在于，所述旋转台(5)位于第一激光干涉仪(7)、第二激光干涉仪(8)之间的连线上。

3.根据权利要求1所述的几何公差测量设备，其特征在于，所述被测仪器、所述接收传感器(6)、第一激光干涉仪(7)、第二激光干涉仪(8)、第一反射镜(9)以及第二反射镜(10)均位于同一平面内。

4.根据权利要求1所述的几何公差测量设备，其特征在于，所述第一激光干涉仪(7)、第一反射镜(9)之间配合，用于构建垂直方向的标准直线。

5.根据权利要求1所述的几何公差测量设备，其特征在于，所述第二激光干涉仪(8)、第二反射镜(10)之间配合，用于构建水平方向的标准直线。

6.根据权利要求1所述的几何公差测量设备，其特征在于，所述导轨(2)沿基座(1)的中轴延伸，所述固定平台(4)设于导轨(2)的一端，所述移动平台(3)可活动地设于导轨(2)上，所述移动平台(3)沿导轨(2)远离或靠近固定平台(4)。