[发明专利]一种医用DLC薄膜玻璃及其制备方法

说明书

本发明公开了一种医用DLC薄膜玻璃，包括玻璃衬底以及依次设置于所述玻璃衬底表面的第一缓冲层、第二缓冲层、DLC膜层和修饰层，其中：所述修饰层为F掺杂的DLC膜层或Ag掺杂的DLC膜层。一种医用DLC薄膜玻璃的制备方法，包括(1)对玻璃衬底进行预处理；(2)制备第一缓冲层；(3)制备第二缓冲层；(4)制备DLC膜层；(5)制备修饰层。本发明具有以下有益效果：1、极大的提高纳钙玻璃的应用器皿质量，提高了其阻水阻氧，阻杂质扩散的能力；2、极大的增加了DLC膜层的粘附性和应用可靠性；3、F掺杂的DLC层极大的提高的玻璃器皿的疏水性；4、Ag掺杂的DLC层可以极大的提高杀菌抑菌能力。

技术领域

本发明属于膜技术领域，尤其涉及一种医用DLC薄膜玻璃及其制备方法。

背景技术

类金刚石(Diamon Like Carbon，DLC)具有石墨结构sp²键和金刚石结构sp³键，具有一些与金刚石薄膜相似的优良特性，如高硬度和高热导性，宽的光学透过范围(折射率一般为1.5-2.6)、良好的电学性能(电阻率可达1000Ω·cm)和生物相容性；同时具有不同于金刚石薄膜的性能，比如成膜温度低(可低至室温)，表面光洁度高，良好的摩擦磨损性能(摩擦系数低至0.2以下)等特点，因此能够应用于生物医疗领域。

化学药剂，特别是人体用的药剂，需要阻止杂质扩散，阻止水氧，生物兼容性好且容器存储运输的器皿，比如装载疫苗所用的玻璃瓶并非普通所用的纳钙玻璃瓶，而是中硼硅玻璃瓶，其化学性能稳定，耐酸耐水，抗急冷急热，机械强度和抗冲击性能力要非常强。但中硼硅玻璃的生产难度较高，价格可达同规格钠钙玻璃/低硼硅玻璃3-5倍，中国国内技术和产能都有限，急需寻找替代中硼硅玻璃瓶的解决方案。

目前DLC作为耐摩擦涂层，多在各种合金或玻璃衬底上沉积，但由于应力较大，降低了其使用范围，其膜层和基底的粘附性问题亟待解决。

发明内容

发明目的：本发明针对上述现有技术存在的问题做出改进，即本发明公开了一种医用DLC薄膜玻璃及其制备方法。

技术方案：一种医用DLC薄膜玻璃，包括玻璃衬底以及依次设置于所述玻璃衬底表面的第一缓冲层、第二缓冲层、DLC膜层和修饰层，其中：

所述修饰层为F掺杂的DLC膜层或Ag掺杂的DLC膜层。

进一步地，所述第一缓冲层为SiO_x层，其中0.01≤x≤2；

所述第二缓冲层为SiC层或SiO_yC层，其中0.01≤y≤2。

进一步地，所述第一缓冲层为Ti层，所述第二缓冲层为TiN层。

一种医用DLC薄膜玻璃的制备方法，包括以下步骤：

(1)对玻璃衬底进行预处理；

(2)制备第一缓冲层：

利用等离子体增强化学气相沉积的方式在经过预处理的玻璃衬底上制备SiO_x,得到玻璃衬底/SiO_x层，其中0.01≤x≤2；

(3)制备第二缓冲层：

利用等离子体增强化学气相沉积的方式在SiO_x层上制备SiC或SiO_yC,得到玻璃衬底/SiO_x/SiC层或玻璃衬底/SiO_x/SiO_yC层，其中0.01≤y≤2；

(4)制备DLC膜层：