[发明专利]一种光刻机防静电保护装置

权利要求书

1.一种光刻机防静电保护装置，其特征在于，包括：

外壳（1），所述外壳（1）的顶部安装有第一PVC板（11），所述外壳（1）的后表面安装有第二PVC板（12），所述外壳（1）的底部一侧安装有底板（6），所述外壳（1）的一侧安装有检测喷雾机构（2）；

其中，所述检测喷雾机构（2）包括电机（21）和隔板（28），所述电机（21）安装于所述外壳（1）的一侧，所述隔板（28）固定连接于所述外壳（1）的内部，所述隔板（28）上开设有滑槽（27），所述电机（21）的输出轴通过联轴器安装有丝杆（26），所述外壳（1）的内壁上通过螺栓安装有轴承座（9），所述丝杆（26）的一端插入所述轴承座（9）的内环内壁，所述外壳（1）的一侧设置有箱体（22），所述丝杆（26）上螺纹连接有活动板（215），所述活动板（215）滑动连接于所述滑槽（27）的内部，且所述活动板（215）的底部固定连接有固定板（211），所述固定板（211）的底部分别安装有颗粒物传感器（212）、静电检测传感器（213）和雾化喷头（214），所述箱体（22）的内部安装有水泵（29），所述水泵（29）的进水口连通有进水管（25），所述水泵（29）的出水口连通有出水管（23），所述出水管（23）的一端贯穿所述外壳（1）和所述固定板（211），且所述出水管（23）的一端与所述雾化喷头（214）相连通；

所述底板（6）的顶部安装有过滤机构（3），所述过滤机构（3）包括水箱（31），所述水箱（31）固定连接于所述底板（6）的顶部，所述水箱（31）的内部安装有高效过滤网（34）和活性炭过滤网（35），且所述活性炭过滤网（35）位于所述高效过滤网（34）的底部，所述进水管（25）的一端贯穿所述箱体（22）、所述水箱（31）、所述高效过滤网（34）和所述活性炭过滤网（35），所述箱体（22）固定连接于所述水箱（31）的顶部；

所述外壳（1）的内部安装有除尘机构（4），所述除尘机构（4）包括风扇组件（42）和通风网（44），所述风扇组件（42）包括马达和扇叶，所述通风网（44）嵌装于所述外壳（1）的内部，所述风扇组件（42）安装于所述通风网（44）的一侧，所述外壳（1）的一侧嵌装粘尘板（43），所述粘尘板（43）的一侧固定连接有板体（41），所述板体（41）的一侧通过螺丝连接于所述外壳（1）的一侧；

所述箱体（22）的内部安装有单片机（5）和触控屏（8），所述颗粒物传感器（212）和所述静电检测传感器（213）的输出端与所述单片机（5）的输入端电性连接，所述电机（21）、所述水泵（29）和所述风扇组件（42）马达的电控端均与所述单片机（5）电性连接，所述单片机（5）与所述触控屏（8）电性连接；

所述光刻机防静电保护装置的使用方法包括如下步骤：

S1、将光刻机安装在外壳（1）的内部，外壳（1）的顶部和一侧分别安装有第一PVC板（11）和第二PVC板（12），第一PVC板（11）和第二PVC板（12）能够屏蔽外部静电进入外壳（1）内部，同时启动电机（21），电机（21）驱动丝杆（26）在外壳（1）内部转动，使丝杆（26）上的活动板（215）在丝杆（26）的转动下在滑槽（27）内部横向移动；

S2、活动板（215）移动时，带动底部的固定板（211）以及安装在固定板（211）上的颗粒物传感器（212）、静电检测传感器（213）以及雾化喷头（214）移动，通过颗粒物传感器（212）和静电检测传感器（213）能够对外壳（1）内部空气中以及光刻机上的颗粒物以及静电进行检测，通过启动水泵（29）抽取水箱（31）中的静电消除剂进行喷洒，从而对颗粒物以及静电进行清除；

S3、喷洒前，通过启动风扇组件（42），由风扇组件（42）的运转加速外壳（1）内部空气以及光刻机表面空气的流通，并带动浮尘颗粒物向粘尘板（43）中流动，使粘尘板（43）吸附流通空气中的浮尘颗粒物；

S4、通过箱体（22）内部的触控屏（8）观测颗粒物传感器（212）和静电检测传感器（213）的检测数据，其单片机（5）通过预设检测数值，在颗粒物传感器（212）和静电检测传感器（213）检测到数据达到预设数值后的单片机（5）自动控制水泵（29）、电机（21）以及风扇组件（42）的运转，同时通过触控屏（8）手动开启关闭水泵（29）、电机（21）以及风扇组件（42）。