[发明专利]一种用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴

权利要求书

1.一种用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴，包括气体质量流量控制器本体和喷嘴，其特征在于，所述喷嘴与所述气体质量流量控制器本体一体成型，其中：

所述气体质量流量控制器本体内部设置有气体通道；

所述喷嘴包括微气孔、分流槽以及密封装置；

所述分流槽设置在所述质量流量控制器本体的上表面，所述气体通道与所述分流槽连通；

所述微气孔设置在所述分流槽的中心位置，所述微气孔的下方通过密封装置与所述气体通道连通；

所述分流槽为环形分流槽；

所述密封装置包括粗孔和密封堵头，其中：所述粗孔包括上粗孔和下粗孔；

所述微气孔通过上粗孔与所述气体通道连通，所述下粗孔内部设置有所述密封堵头；

气室通过所述喷嘴与所述气体质量流量控制器本体连接；

在气体质量流量控制器本体的底部从下而上通过精密钻床加工出粗孔，然后从本体的上表面，采用精密钻头向下钻出微气孔；

气体质量流量控制器是靠电磁阀控制气室的碟簧与喷嘴之间的距离来控制气体管道中微气体的流量；

气室与喷嘴之间为金属密封或者橡胶密封。

2.如权利要求1 所述的用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴，其特征在于，所述微气孔的孔径≤0.5mm。

3.如权利要求2 所述的用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴，其特征在于，所述粗孔的孔径≤2mm。