[发明专利]材料介电性能测试设备

权利要求书

1.一种材料介电性能测试设备，其特征在于，包括：

耦合波导组件，用于发射可穿透被测样品的光束并接收穿透被测样品后的光束；

第一反射镜，为平面镜；

第二反射镜，与所述第一反射镜相对设置；

驱动单元，用于使被测样品在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间沿垂直于所述第一反射镜的方向运动；

支撑组件，所述第一反射镜及所述第二反射镜连接于所述支撑组件；

控制单元，与所述耦合波导组件及所述驱动单元电性连接；

探针底座；

所述第一反射镜或所述第二反射镜设有可供光束贯穿的第一耦合孔；

所述第一耦合孔设置于所述第一反射镜，所述第二反射镜设有可供光束贯穿的第二耦合孔，所述第二耦合孔和所述第一耦合孔同轴；

所述耦合波导组件包括第一探针和第二探针，所述第一探针的外边缘与所述第一耦合孔配合连接，所述第二探针的外边缘与所述第二耦合孔配合连接，所述第一探针和所述第二探针中的一者用于发射光束，另一者用于接收光束，所述第一探针滑动连接于所述探针底座并可沿所述第一耦合孔的轴线方向移动，所述探针底座连接于所述第一反射镜。

2.根据权利要求1所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，所述第二反射镜为凹面镜，所述第二耦合孔设置于所述第二反射镜的中心位置。

3.根据权利要求2所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，所述第一探针用于发射光束，所述第二探针用于接收光束。

4.根据权利要求1所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，所述支撑组件包括：

顶板；

底板；

侧板，所述顶板和所述底板分别连接于所述侧板的两端，所述第一反射镜和所述第二反射镜连接于所述侧板。

5.根据权利要求1所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，所述控制单元包括上位机和显示单元，所述第一探针通过第一电缆与所述上位机电性连接，所述第二探针通过第二电缆与所述上位机电性连接，所述上位机与所述显示单元电性连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，还包括承载台，所述承载台用于承载被测样品，所述承载台连接于所述驱动单元，所述驱动单元驱动所述承载台在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间沿垂直于所述第一反射镜的方向运动，所述承载台包括可供光束穿透的通孔。

7.根据权利要求6所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，所述驱动单元包括活动板、固定板和锁紧机构，所述活动板滑动连接于所述固定板，所述固定板连接于所述支撑组件，所述承载台连接于所述活动板，所述锁紧机构用于锁紧定位后的活动板的位置。

8.根据权利要求6所述的材料介电性能测试设备，其特征在于，所述承载台包括高电导率铝合金材质层。