[发明专利]一种管状锂靶材的制备方法

权利要求书

1.一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于：采用3D打印方法制备所述管状锂靶材，打印前，准备金属背管并进行预处理，然后将其装夹在3D打印设备的打印平台上方，在真空环境或惰性气体保护环境下，以直径2-10mm的锂丝为原料，采用电弧熔丝的方式在所述金属背管上打印出所需厚度的锂层，打印的同时金属背管进行旋转，边旋转边打印，待整个金属背管的表面打印完成后，得到所需的管状锂靶材，所述金属背管的圆周面上设计沿长度方向延伸的凹槽结构，且凹槽内设有排气槽；所述打印平台从中间一分为二且左、右两侧的打印平台均为三维移动平台，能够独立在高度和水平方向上进行位置调节，左、右两侧的打印平台上方设有相对设置的两个卡盘，所述卡盘能够在电机驱动下进行旋转；所述打印平台的后方设有滚压件，所述滚压件设在支撑架上并连接有压力传感器和温度传感器，在支撑架的带动下所述滚压件能够移动以贴近所述管状锂靶材并施加所需压力，所述滚压件内部设置有加热部件，在打印完成后，驱动所述滚压件贴近所述管状锂靶材并施加1-50Mpa的压力，使滚压件和管状锂靶材相向旋转，并启动滚压件内部的加热部件进行加热，滚压完成后得到所需的管状锂靶材，制备完成后，将管状锂靶材转移至高真空环境下，启动自动包装机对成品锂靶材真空包装，包装需要三层以上，防止泄露。

2.如权利要求1所述的一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于，所述滚压件与靶材接触的表面涂有防粘材料涂层。

3.如权利要求1所述的一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于，所述金属背管的材料为铜、钛或不锈钢。

4.如权利要求1所述的一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于：所述3D打印的环境中，水氧含量为1ppm以下。

5.如权利要求1所述的一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于：所述惰性气体为高纯氩。

6.如权利要求1所述的一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于：所述锂丝为纯度≥99.95%的金属锂。

7.如权利要求1所述的一种管状锂靶材的制备方法，其特征在于：对金属背板的预处理包括清理、擦拭和晾干。