[发明专利]一种判断浪涌电流测试中SiC MOSFET失效原因的方法有效
申请号: | 202110732566.3 | 申请日: | 2021-06-29 |
公开(公告)号: | CN113466649B | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 王振宇;李运甲;孙晓华;金吉振;窦伟滔;王毓柱;朱郑允;郭清;刘晔 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学;浙江大学 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 王艾华 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 判断 浪涌 电流 测试 sic mosfet 失效 原因 方法 | ||
1.一种判断浪涌电流测试中SiC MOSFET失效原因的方法,其特征在于,根据浪涌电压波形判断器件的失效原因,包括以下步骤:
1)栅极电压VGS,对SiC MOSFET从源极向漏极施加浪涌电流,记录相应的浪涌电压波形,逐渐增大浪涌电流峰值进行测试,记录每次测试过程中的浪涌电压波形,直至器件失效,将器件失效时的浪涌电流峰值定义为器件的最大浪涌电流能力,记录器件的最大浪涌电流能力;
2)分析正栅偏浪涌电流测试过程中的浪涌电压波形变化,若在器件失效前,浪涌电压波形存在明显的尖峰电压,且尖峰电压的位置随着浪涌测试的进行逐渐向左上方移动,则判断器件因铝熔化而发生了封装失效;
3)分析正栅偏浪涌电流测试过程中的浪涌电压波形变化,若在器件失效前,浪涌电压波形不存在尖峰电压,则判断器件因栅极氧化物击穿而失效;
4)栅极电压VGS设置为-5至-1V内的某个固定值,对同种型号的SiC MOSFET进行浪涌电流测试,直至器件失效,记录器件的最大浪涌电流能力,对比正栅偏浪涌电流测试与负栅偏浪涌电流测试中器件的最大浪涌电流能力,验证对器件失效原因的判断;
5)SiC MOSFET在负栅偏测试中因铝熔化而发生封装失效,若正栅偏浪涌电流测试中器件的最大浪涌电流能力与负栅偏浪涌电流测试中的情形相近相比不超过10%,则验证了正栅偏浪涌电流测试中器件因铝熔化而发生封装失效;若正栅偏浪涌电流测试中器件的最大浪涌电流能力明显小于负栅偏浪涌电流测试中的情形相比超过10%,则验证了正栅偏浪涌电流测试中器件因栅极氧化物击穿而提前失效。
2.根据权利要求1所述的一种判断浪涌电流测试中SiC MOSFET失效原因的方法,其特征在于,所述步骤1)中栅极电压VGS设置为15—20V。
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