[发明专利]柔性可拉伸显示面板制作方法及柔性可拉伸显示面板在审
| 申请号: | 202110726678.8 | 申请日: | 2021-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN113451538A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
| 发明(设计)人: | 卜凡中;李骄阳;乔贵洲 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32;G09F9/30 |
| 代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
| 地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 拉伸 显示 面板 制作方法 | ||
1.一种柔性可拉伸显示面板制备方法,其特征在于,包括:
提供第一基底,在所述第一基底上形成多个像素岛,各个所述像素岛包括第一金属层;
提供第二基底,在所述第二基底上形成连接桥,所述第二基底为柔性基底;
将设置在所述第一基底上的多个所述像素岛转移至所述第二基底上,且所述连接桥与所述第一金属层导通,使得所述多个像素岛经由所述连接桥相互连通。
2.根据权利要求1所述的柔性可拉伸显示面板制备方法,其特征在于,
所述第一基底包括用于设置发光像素单元的多个像素区和位于所述多个像素区之间的间隔区;
所述在所述第一基底上形成多个像素岛,具体包括:
在所述第一基底一侧形成柔性衬底层;
在所述柔性衬底层上形成覆盖所述柔性衬底层的阻隔层;
在位于所述像素区的所述阻隔层上形成若干相互间隔的沟道;
在所述沟道上形成覆盖所述阻隔层和所述沟道的层间绝缘层;
在所述层间绝缘层上形成栅极;
在所述栅极上形成覆盖所述栅极和所述层间绝缘层的栅极绝缘层;
在所述像素区形成贯穿所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层、且与所述沟道连通的第一穿孔,以及贯穿所述栅极绝缘层、所述层间绝缘层、所述阻隔层和所述柔性衬底层、且与所述沟道相互间隔的第二穿孔;
在所述第一穿孔内形成源极和漏极,在所述第二穿孔内形成所述第一金属层;
刻蚀位于所述间隔区的所述柔性衬底层、所述阻隔层、所述层间绝缘层、所述栅极绝缘层。
3.根据权利要求2所述的柔性可拉伸显示面板制备方法,其特征在于,所述在所述第一基底一侧形成柔性衬底层前,还包括:
在所述第一基底上形成覆盖所述第一基底的缓冲层;
在所述缓冲层上形成覆盖所述缓冲层的第二金属层,所述第二金属层设置在所述缓冲层和所述柔性衬底层之间且所述第二金属层与所述第一金属层连接;
所述刻蚀位于所述间隔区的所述柔性衬底层、所述阻隔层、所述层间绝缘层、所述栅极绝缘层后,还包括:
刻蚀位于所述间隔区的所述第二金属层。
4.根据权利要求3所述的柔性可拉伸显示面板制备方法,其特征在于,所述将设置在所述第一基底上的多个所述像素岛转移至所述第二基底上,具体包括:
将所述像素岛自所述第一基底剥离;
去除所述缓冲层;
在所述第二基底上设置粘接层;
将所述像素岛设置在所述粘接层上。
5.一种柔性可拉伸显示面板,其特征在于,包括:
柔性基底;
设置在所述柔性基底上的连接桥;
设置在所述连接桥两端的像素岛,各个所述像素岛包括第一金属层,所述第一金属层与所述连接桥连接导通。
6.根据权利要求5所述的柔性可拉伸显示面板,其特征在于,所述像素岛包括设置在所述柔性基底上的柔性衬底层,覆盖所述柔性衬底层的阻隔层,设置在所述阻隔层上的沟道,覆盖所述阻隔层和所述沟道的层间绝缘层,设置在所述层间绝缘层上的栅极,覆盖所述栅极和所述层间绝缘层的栅极绝缘层,设置在所述栅极绝缘层上的源极和漏极,所述第一金属层与所述源极和所述漏极同层制备;
所述第一金属层贯穿所述栅极绝缘层、所述层间绝缘层、所述阻隔层和所述柔性衬底层,且与所述沟道相互间隔设置。
7.根据权利要求6所述的柔性可拉伸显示面板,其特征在于,还包括设置在所述柔性衬底层和所述柔性基板之间的第二金属层,所述第二金属层覆盖所述柔性衬底层设置且与所述第一金属层连接。
8.根据权利要求6所述的柔性可拉伸显示面板,其特征在于,还包括:
设置在所述柔性衬底层和所述连接桥之间的粘接层。
9.根据权利要求8所述的柔性可拉伸显示面板,其特征在于,所述粘接层与所述第一金属层间隔设置。
10.根据权利要求5述的柔性可拉伸显示面板,其特征在于,所述连接桥包括多条连接线,以及设置在所述连接线两端的连接部,所述连接部与所述第一金属层连接导通,使得所述多个像素岛经由所述连接桥相互连通;
所述第一金属层包括朝向所述连接部的第一连接面,所述连接部包括朝向所述金属件的第二连接面,所述第二连接面在所述柔性基底上的正投影的面积大于所述第一连接面在所述柔性基底上的正投影的面积。
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