[发明专利]一种压力控制装置及压力控制方法有效
申请号: | 202110719959.0 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN113352236B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 孙莉莉;张文斌;徐品烈;赵祥;张彩山 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | B24B51/00 | 分类号: | B24B51/00;B24B49/16 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 刘凤 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力 控制 装置 方法 | ||
1.一种压力控制装置,其特征在于,所述压力控制装置包括:驱动机构、传动机构、浮动机构、压力传感器和控制器;
所述控制器将驱动信号发送到所述驱动机构;
所述驱动机构基于所述驱动信号为所述传动机构提供在垂直方向上的驱动力,使得所述传动机构在垂直方向上移动;
所述传动机构连接到所述浮动机构,将所述驱动机构提供的驱动力传递到所述浮动机构,使得所述浮动机构在垂直方向上向待加工件施加压力;
所述压力传感器测量向所述待加工件施加的实际压力值,并将测量得到的实际压力值发送到所述控制器;
所述控制器确定所述待加工件当前所处的加工阶段以及当前所处的加工阶段对应的压力给定值以及给定移动位移;
所述控制器确定所述传动机构的移动位移,并基于所述移动位移和所述实际压力值控制所述驱动机构动作;
其中,所述控制器还用于:
控制所述驱动机构根据与给定移动位移对应的驱动信号控制所述传动机构进行移动;
当所述实际压力值达到所述压力给定值时,产生停止控制信号,将所述停止控制信号发送到所述驱动机构,以控制所述驱动机构停止运行。
2.根据权利要求1所述的压力控制装置,其特征在于,所述驱动机构包括:伺服电机、丝杠和丝杠螺母;
所述伺服电机连接到所述丝杠,以基于所述驱动信号为所述丝杠提供所述驱动力;
所述丝杠螺母设置在所述丝杠上,所述丝杠螺母还连接到所述传动机构,将所述伺服电机提供的驱动力传递到所述传动机构,以带动所述传动机构在垂直方向上移动。
3.根据权利要求2所述的压力控制装置,其特征在于,所述传动机构包括:滑块和传动杆;
所述传动杆的一端连接到所述丝杠螺母,所述传动杆的另一端连接到所述浮动机构,所述滑块设置在所述传动杆的所述一端;
所述传动杆基于所述丝杠螺母传递的所述驱动力进行移动,以带动所述滑块在垂直方向上移动。
4.根据权利要求2所述的压力控制装置,其特征在于,所述伺服电机的编码器测量所述传动机构的移动位移,并将测量得到的移动位移发送到所述控制器。
5.根据权利要求3所述的压力控制装置,其特征在于,所述压力控制装置还包括:第一限位传感器、第二限位传感器和限位遮光片;
所述第一限位传感器设置在所述滑块行程的上限位置,用于限制所述滑块在所述驱动力的作用下沿垂直方向移动的位移上限;
所述第二限位传感器设置在所述滑块行程的下限位置,用于限制所述滑块在所述驱动力的作用下沿垂直方向移动的位移下限;
所述限位遮光片设置在所述滑块的外表面上,且面对所述第一限位传感器和所述第二限位传感器;
当所述滑块在所述驱动力的作用下沿垂直方向移动到所述位移上限时,所述第一限位传感器将检测到的第一位移信号发送到所述控制器,当所述滑块在所述驱动力的作用下沿垂直方向移动到所述位移下限时,所述第二限位传感器将检测到的第二位移信号发送到所述控制器,所述控制器响应于所述第一位移信号或者所述第二位移信号控制所述伺服电机停止运行。
6.一种压力控制方法,其特征在于,应用于如权利要求1所述的压力控制装置,所述压力控制方法包括:
确定针对所述待加工件的压力给定值以及给定移动位移;
基于压力值与所述传动机构的移动位移之间的对应关系,确定与所述压力给定值对应的给定移动位移,并基于所述给定移动位移生成所述驱动信号;
将所述驱动信号发送到所述驱动机构,以控制所述驱动机构为所述传动机构提供在垂直方向上的驱动力;
确定所述传动机构在所述驱动力的作用下的移动位移;
从所述压力传感器获取测量得到的所述浮动机构在垂直方向上向所述待加工件施加的实际压力值;
基于所述移动位移和所述实际压力值控制所述驱动机构动作;
其中,所述移动位移和所述实际压力值控制所述驱动机构动作的步骤包括:
当所述实际压力值达到所述压力给定值时,产生停止控制信号;
将所述停止控制信号发送到所述驱动机构,以控制所述驱动机构停止运行。
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