[发明专利]密封检测装置、显影密封检测设备及其检测方法

权利要求书

1.一种密封检测装置(64)，其特征在于：包括：

测试容器(10)；

给液机构(20)，所述给液机构(20)用于向所述测试容器(10)内注入测试液；

压力测量装置(30)，所述压力测量装置(30)伸入所述测试容器(10)内，并用于测量测试液在所述测试容器(10)内的压力值；

密封组件(40)，所述密封组件(40)设置于所述测试容器(10)内，并用于密封待测终端(50)的非检测区域。

2.根据权利要求1所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述给液机构(20)包括驱动模组(21)和用于存储测试液的储液容器(22)，所述储液容器(22)和所述测试容器(10)相连通，所述驱动模组(21)用于将所述储液容器(22)内的测试液推送至所述测试容器(10)内。

3.根据权利要求2所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述驱动模组(21)包括动力装置(23)和推送件(24)，所述动力装置(23)和所述推送件(24)传动连接，所述推送件(24)部分伸入所述储液容器(22)内，所述动力装置(23)用于驱动所述推送件(24)朝向所述储液容器(22)移动，以使得所述推送件(24)将所述储液容器(22)内的测试液推送至所述储液容器(22)内。

4.根据权利要求3所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述动力装置(23)包括控制模组和电连接于所述控制模组的驱动电机(25)，所述驱动电机(25)的输出轴和所述推送件(24)传动连接，且所述驱动电机(25)用于在所述控制模组的控制下，驱动所述推送件(24)朝向所述储液容器(22)移动。

5.根据权利要求4所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述动力装置(23)还包括电池(26)，所述控制模组和所述驱动电机(25)均和所述电池(26)电连接。

6.根据权利要求4所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述推送件(24)包括推杆(27)和推液塞(28)，所述推杆(27)和所述驱动电机(25)的输出轴传动连接，所述推液塞(28)设置于所述推杆(27)伸入所述储液容器(22)内的一端，且和所述储液容器(22)的内壁密封配合。

7.根据权利要求6所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述驱动模组(21)还包括传动丝杆(211)、驱动螺母(212)、连接件(213)和推力轴承(214)，所述传动丝杆(211)和所述驱动电机(25)的输出轴相连接，所述驱动螺母(212)和所述传动丝杆(211)相螺合，所述连接件(213)和所述驱动螺母(212)相连接，所述推力轴承(214)设置于所述连接件(213)背向所述驱动螺母(212)的一端，所述推杆(27)和所述推力轴承(214)相连接。

8.根据权利要求6所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述驱动模组(21)还包括凸轮(215)、连杆(216)和导向套筒(217)，所述驱动电机(25)的输出轴和所述凸轮(215)相连接，所述连杆(216)转动连接于所述凸轮(215)的轮面上，且所述连杆(216)背向所述凸轮(215)的一端和所述推杆(27)相铰接，所述导向套筒(217)沿所述推杆(27)的进给方向设置，推杆(27)穿过所述导向套筒(217)。

9.根据权利要求3所述的密封检测装置(64)，其特征在于：所述动力装置(23)包括控制模组、电连接于所述控制模组的驱动气缸(29)、推杆(27)和推液塞(28)，所述驱动气缸(29)的活塞杆(291)和所述推杆(27)相连接，所述推杆(27)至少部分伸入所述储液容器(22)内，所述推液塞(28)设置于所述推杆(27)伸入所述储液容器(22)内的一端，且和所述储液容器(22)的内壁密封配合。