[发明专利]剥膜机及剥膜方法

说明书

关于一种立式剥膜机，包含基板支撑件以及剥膜装置。基板支撑件设置以承载基板并调整基板为站立姿势或平躺姿势。剥膜装置对应基板支撑件设置，且剥膜装置与基板支撑件可相对移动。

技术领域

本发明关于一种剥膜机以及剥膜方法，特别是一种立式的剥膜机以及剥膜方法。

背景技术

目前，在半导体或电子零组件的产业中，于部分工艺会需要在基板上贴附膜料(例如Mylar膜)以防止灰尘沾附、达到静电防护或是阻绝与空气接触。在加工程序结束后，通常是借由人力剥除膜料，但因人力剥除膜料的过程中，可能因为施力不当造成基板破损，故效率不彰。如今，已普遍采用自动化机器来剥除基板上的膜料。

然而，由于产业与时俱进，基板上贴附的膜料种类也变得多样化，其中部分膜料因基材或工艺等差异，传统自动化机器易有撕膜失败、破裂等问题，影响工艺合格率。为此，需针对特定种类膜料提供适合的自动化撕膜机器。

发明内容

本发明在于提供一种剥膜机以及剥膜方法，有助于解决目前剥除膜料过程中容易有碎屑掉落到基板表面的问题。

本发明所揭露的剥膜机包含至少一基板支撑件以及剥膜装置。基板支撑件设置以承载基板并调整基板为站立姿势或平躺姿势。剥膜装置对应基板支撑件设置，且剥膜装置与基板支撑件可相对移动。

本发明另揭露的剥膜机包含至少一基板支撑件以及剥膜装置。基板支撑件设置以承载基板并使基板处于站立姿势。剥膜装置对应基板支撑件设置，且剥膜装置与基板姿势调整装置可相对移动。

本发明又另揭露的剥膜方法包含：将贴附有薄膜的基板处于站立姿势；以及使用剥膜装置进行剥膜程序，以剥离贴附于基板的薄膜。

根据本发明揭露的剥膜机以及剥膜方法，于剥膜之前，基板支撑件可以将基板调整为站立姿势，让基板在站立姿势下进行剥膜程序。由于基板处于站立姿势，且剥膜装置也配合以垂直升降方式剥除薄膜，有助于防止剥膜程序中产生的碎屑掉落到基板表面。

以上的关于本揭露内容的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求书更进一步的解释。

附图说明

图1为根据本发明一实施例的剥膜机的示意图。

图2为图1中剥膜机的剥膜装置的示意图。

图3至图8为使用图1的剥膜机从基板上剥除膜料的示意图。

图9为根据本发明另一实施例的剥膜机的示意图。

图10为使用图9的剥膜机从基板上剥除膜料的示意图。

具体实施方式

以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使本领域技术人员了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求书及附图，本领域技术人员可轻易地理解本发明相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。

请先参照图1和图2，其中图1为根据本发明一实施例的剥膜机的示意图，且图2为图1中剥膜机的剥膜装置的示意图。在本实施例中，剥膜机1包含基板支撑件10以及剥膜装置20。基板支撑件10以及剥膜装置20可共同安装于底座(未另绘示)上。