[发明专利]基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统在审
| 申请号： | 202110685373.7 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113531946A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 徐英杰;毛成斌;黄松林 | 申请（专利权）人： | 嵊州市浙江工业大学创新研究院 |
| 主分类号： | F25B19/02 | 分类号： | F25B19/02;F25B41/20;F25B41/24 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 周红芳;朱盈盈 |
| 地址： | 312400 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 低温 喷射式 制冷 单晶硅 生产 除尘 冷却系统 | ||
1.基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统， 其特征在于：包括恒温水箱（1）、第一水泵（3）、除尘罐（4）、储热水箱（6）、第二水泵（7）及发生器（8），所述除尘罐（4）的底部设有换热器，所述恒温水箱（1）、第一水泵（3）、设置在除尘罐（4）底部的换热器、储热水箱（6）、第二水泵（7）及发生器（8）之间依次连接形成回路，且所述第二水泵（7）的出口与发生器（8）的第一入口相连，发生器（8）的第一出口与恒温水箱（1）的入口相连；
还包括制冷剂泵（9）、冷凝器（14）、喷射器（15）及蒸发器（16），所述发生器（8）的第二出口与喷射器（15）的第一入口相连，喷射器（15）的第二入口与蒸发器（16）的第一出口相连，所述喷射器（15）的出口与冷凝器（14）的第一入口相连，冷凝器（14）的第一出口分别与制冷剂泵（9）的入口及蒸发器（16）的第一入口相连，所述制冷剂泵（9）的出口与发生器（8）的第二入口相连，所述蒸发器（16）的第二出口与第一水泵（3）的入口相连，蒸发器（16）的第二入口与除尘罐（4）的出口相连。
2.根据权利要求1所述的基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统，其特征在于所述恒温水箱（1）的出口与第一水泵（3）的入口之间设有第一截止阀（2），所述换热器的出口与储热水箱（6）的入口之间设有第二截止阀（5），所述发生器（8）的第一出口与恒温水箱（1）的入口之间设有第四截止阀（11）。
3.根据权利要求1所述的基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统，其特征在于所述冷凝器（14）的第一出口与蒸发器（16）的第一入口之间设有节流阀（13），所述蒸发器（16）的第二出口与第一水泵（3）的入口之间设有第三截止阀（10），所述蒸发器（16）的第二入口与除尘罐（4）的出口之间设有第五截止阀（12）。
4.根据权利要求1所述的基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统，其特征在于所述冷凝器（14）的第二入口和第二出口均与空气相连。
5.根据权利要求1所述的基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统，其特征在于所述除尘罐（4）的数量为一个。
6.根据权利要求1所述的基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统，其特征在于所述除尘罐（4）的数量为若干个，若干个所述除尘罐（4）之间并联连接。
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