[发明专利]具有环形电极的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.具有环形电极的薄膜体声波谐振器，包括衬底、压电堆叠结构和接触电极，其特征在于：还包括环形电极；所述的衬底上刻蚀有空腔，空腔上方设有压电堆叠结构；所述的压电堆叠结构包括下电极、压电层和上电极；衬底以及空腔上设有下电极；所述下电极的面积大于空腔的面积；衬底以及下电极上沉积有压电层，所述的压电层上沉积有上电极；压电层的面积大于上电极以及下电极的面积，且压电层包裹下电极；所述的上电极上沉积有层层嵌套的多圈环形电极，且相邻两圈环形电极不接触；所述的压电层中刻蚀有通孔一，通孔一刻蚀到下电极的上表面；所述的压电层和下电极中刻蚀有通孔二，通孔二与空腔连通；通孔一中以及压电层上表面远离上电极的方向沉积有接触电极，接触电极与下电极相连。

2.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：制备下电极时，首先在空腔内沉积有牺牲层，然后在衬底以及牺牲层上沉积下电极；而牺牲层的去除方式为：在刻蚀好通孔二后，在通孔二中释放腐蚀液或腐蚀气体，来腐蚀牺牲层，从而重新形成开放的空腔。

3.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述空腔的形状为梯形、三角形、长方形、正方形、非规则多边形、圆形或椭圆形中的一种。

4.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述下电极和上电极的材料均为铜、银、钛、钼、钨、铝、金或铂中的一种。

5.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述压电层的材料为氮化铝、氧化锌、铌酸锂、镍酸锂或锆钛酸铅中的一种。

6.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述压电堆叠结构的形状为梯形、三角形、长方形、正方形、非规则多边形、圆形或椭圆形中的一种。

7.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述环形电极的材料为铜、银、钛、钼、钨、铝、金、铂中的一种或多种按任意配比组合，且相邻圈环形电极的材料不相同。

8.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述环形电极的形状为三角形、长方形、正方形、圆环、椭圆环或非规则多边形中的一种。

9.根据权利要求1所述具有环形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述接触电极的材料为铜、银、钛、钼、钨、铝、金、铂中的一种或多种按任意配比组合。