[发明专利]一种检测光耦发光侧漏点硅胶缺陷的方法、装置及设备有效

专利信息
申请号: 202110666412.9 申请日: 2021-06-16
公开(公告)号: CN113406432B 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 陈益群;徐刚;蔡毅 申请(专利权)人: 宁波群芯微电子股份有限公司
主分类号: G01R31/01 分类号: G01R31/01
代理公司: 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 代理人: 李兰兰
地址: 315000 浙江省宁波市杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 发光 侧漏点 硅胶 缺陷 方法 装置 设备
【说明书】:

发明公开了一种检测光耦发光侧漏点硅胶缺陷的方法、装置及设备,包括以下步骤:电流源施加第一输入电流给待测光耦的输入端,电压源施加第一电压给待测光耦的输出端且测量第一导通电流,具有运算功能的电路计算第一导通电流与第一输入电流之间的电流传输比CTR1;电流源施加大于第一输入电流的大电流给待测光耦通电进行老化;电流源施加第二输入电流给待测光耦的输入端,电压源施加第二电压给待测光耦的输出端且测量第二导通电流,具有运算功能的电路计算第二导通电流与第二输入电流之间的电流传输比CTR2;比较CTR1和CTR2的衰减百分比变化量,筛选出有点胶缺陷的芯片,方案解决了生产过程中对光耦发光侧漏点硅胶缺陷的筛选产品耗时过长和成本高的问题。

技术领域

本发明涉及集成电路制造和测试领域,特别是涉及一种检测光耦发光侧漏点硅胶缺陷的方法、装置及设备。

背景技术

光耦合器(opticalcoupler equipment,英文缩写为OCEP)亦称光电隔离器或光电耦合器,简称光耦,它是以光为媒介来传输电信号的器件,通常把红外光发射器件(红外线发光二极管)与红外光接收器件(光敏三极管)封装在同一管壳内,如图1所示的光耦模型结构图,其工作原理是实现“电-光-电”的转换和传输,具体地,传输模拟电压或电流信号,随输入信号的强弱变化会产生相应的光信号,从而使光敏三极管的输出电压或电流随之变化。其输入端设置有红外光发射器件、输出端对应设置有红外光接收器件,输入端和输出端填充绝缘媒介,信号通过光这种传输媒介由输入端向输出端单向传输,实现电气隔离。

光耦属于工业级产品,失效率要求很高(通常要求小于10 ppm,越小越好);光耦的生产工艺流程复杂,每个工序都可能有质量缺陷,绝大部分工序的缺陷都可以在测试工序通过电参数测量的方法筛选出来,但在点胶工序的缺陷很特殊,普通电参数测量方法无法将不良品挑出来。具体说明如下:如图1所示,光耦的输入端为红外光发射器件,在生产过程中需要进行点硅胶以保护红外光发射器件作用,同时还能具备透光和散热作用;由于点胶硅胶过程精准控制难度很大,生产过程很难避免漏点硅胶,无法做到零缺陷,常规的检测及筛选方法在产品封装完成后,使用X-ray设备由人工对每颗产品进行透视检测,将不良品挑选出来,这种检测筛选方法存在耗时过长、成本高的缺点。

发明内容

针对上述现有技术存在的缺陷,本发明的目的在于提供一种检测光耦发光侧漏点硅胶缺陷的方法、装置及设备,以电学测试法代替人工透视检测,极大地提高生产效率。

为实现上述目的,本发明提供了一种检测光耦发光侧漏点硅胶缺陷的方法,包括以下步骤:电流源施加第一输入电流给待测光耦的输入端,电压源施加第一电压给待测光耦的输出端且测量第一导通电流,具有运算功能的电路计算第一导通电流与第一输入电流之间的电流传输比CTR1并记录;电流源施加大于第一输入电流的大电流给待测光耦通电一段时间进行老化;电流源施加第二输入电流给待测光耦的输入端,电压源施加第二电压给待测光耦的输出端且测量第二导通电流,具有运算功能的电路计算第二导通电流与第二输入电流之间的电流传输比CTR2并记录;比较CTR1和CTR2的衰减百分比变化量达到筛选目的。

优选地,所述比较CTR1和CTR2的衰减百分比变化量5%为良品,衰减百分比变化量≥5%为不良品。

优选地,所述电流源施加大于第一输入电流的大电流给待测光耦通电一段时间进行老化,包括:电流源施加10倍第一输入电流的大电流给待测光耦通电一段时间进行老化。

优选地,在所述电流源施加10倍第一输入电流的大电流给待测光耦通电一段时间进行老化的前后,包括:前后施加给待测光耦的第一输入电流和第二输入电流的值大小是一致的、前后施加给待测光耦的第一电压和第二电压的值大小是一致的、前后环境温度是一致的。

优选地,在所述比较CTR1和CTR2的衰减百分比变化量达到筛选目的,包括:采用具有运算功能的电路计算每组CTR1和CTR2的衰减百分比变化量,通过直观数值判断衰减百分比变化量的大小达到筛选目的。

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